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基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器 價(jià)格:12  元(人民幣) 產(chǎn)地:深圳
最少起訂量:1 發(fā)貨地:深圳
上架時(shí)間:2019-02-23 10:02:28 瀏覽量:209
深圳市易容信息技術(shù)有限公司  
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  此款高性能射頻濾波器是村田制作所基于CMOS工藝的制作出來的一款新型產(chǎn)品。下面小編帶領(lǐng)大家來看看村田制作所得這款產(chǎn)品。
這種用膜結(jié)構(gòu)的方法產(chǎn)生的BAW器件需要淀積的層數(shù)是最少的。這種方法的缺點(diǎn)是由于頂部有易碎的膜,從而造成晶片的處理很困難,此外還有其它一些魯棒性的問題。
  為實(shí)現(xiàn)將聲波從襯底隔離開,還可以用聲波鏡來實(shí)現(xiàn)。用若干聲阻抗高和低的層交替堆疊,且這些層的厚度都等于主諧振波長(zhǎng)的1/4,這樣就構(gòu)建了一個(gè)有效的聲波鏡。這種制鏡機(jī)理在光學(xué)中很普遍。在每個(gè)高阻抗層和低阻抗層之間的界面上,大部分的聲波被反射,又由于這些層的厚度是/4,因而反射波會(huì)按合適的相位疊加。這種類型的BAW被稱為固態(tài)裝配諧振器(SMR)。
  就魯棒性而言,SMR比膜結(jié)構(gòu)的BAW要好很多。在劃片和裝配所需的各種標(biāo)準(zhǔn)工序中,沒有機(jī)械損壞的風(fēng)險(xiǎn)。壓電層和電極層上受到的層壓力也不會(huì)造成問題。對(duì)需要有很大功率承受能力的BAW而言,存在一條直接穿過鏡子的垂直傳熱通路是很有利的,這樣可以明顯降低對(duì)周圍環(huán)境的熱阻抗。SMR類的FBAR在用于IC集成時(shí)有很明顯的優(yōu)點(diǎn),因?yàn)樗梢员磺度氲浇惶娴慕饘?氧化物堆中,而這種金屬-氧化物堆一般先進(jìn)的IC工藝都可以提供。事實(shí)上,在IC工藝上集成SMR,總的工序和掩膜層數(shù)都得到節(jié)省。www.mlcc1.com/mlcc

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