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本工藝有40支至240支充有特殊氣體的無(wú)極管組成的低溫等離子體激發(fā)區(qū)，低溫等離子體區(qū)是工藝的核心技術(shù)，國(guó)外諸多科研機(jī)構(gòu)室稱(chēng)在常壓下實(shí)現(xiàn)低溫等離子體。從大量的試驗(yàn)分析，常壓低溫等離子體要在工業(yè)中應(yīng)用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無(wú)極燈作為低溫等離子體的激發(fā)體，大限 度地在無(wú)極管區(qū)實(shí)現(xiàn)低溫等離子體區(qū)，由于低溫等離子體在能 量躍遷過(guò)程中具有極強(qiáng)的能 量平衡性，在粒子撞擊中失能極少，所以低溫等離子體作為原子激發(fā)是理想的一種能。在實(shí)踐應(yīng)用中，大的科題在于低氣壓究竟是多少帕管內(nèi)充什么樣的氣體有經(jīng)濟(jì)價(jià)值這沒(méi)有理論模型可言，只有通過(guò)實(shí)踐、實(shí)驗(yàn)、分析。

等離子凈化機(jī)理
等離子體化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中，等離子體傳遞化學(xué)能 量的反應(yīng)過(guò)程中能 量的傳遞大致如下：
(1) 電場(chǎng)+電子→高能電子
(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團(tuán)、游離基團(tuán)) 活 性基 團(tuán)
(3) 活 性基團(tuán)+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活 性基團(tuán)+活 性基團(tuán)→生成物+熱
從以上過(guò)程可以看出，電子首先從電場(chǎng)獲得能 量，通過(guò)激發(fā)或電離將能 量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能 量的分子或原子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離，從而成為活 性基團(tuán)；之后這些活 性基團(tuán)與分子或原子、活 性基團(tuán)與活 性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強(qiáng)的物質(zhì)俘獲，成為負(fù)離子。這類(lèi)負(fù)離子具有很好的化學(xué)活 性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。