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項目名稱

指標

氧氣純度，10-2

≥99.999

氫含量，10-6

≤0.5

氬含量，10-6

≤2

氮含量，10-6

≤5

二氧化碳含量，10-6

≤0.5

總烴含量（以甲烷計），10-6

≤0.5

水分含量，10-6

≤2

注：表中純度和含量均以體積分數(shù)表示（V/V）。