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超純氨是微電子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，其反應(yīng)為：750—850℃ ：SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2 ，850—900℃ ：3SiCl4+4NH3---Si3N4+12HCl。雖然NH3在半導(dǎo)體制造用量不大，但在光電子領(lǐng)域、超純氨是十分重要的原材料，NH3的質(zhì)量好壞直接決定發(fā)光二極管（LED）的亮度，它的價格高低左右著LED的經(jīng)濟性。發(fā)光二極管LED是繼愛迪生發(fā)明電燈后，人類又一次照明工業(yè)的革命，發(fā)達(dá)國家（包括我國臺灣省在內(nèi)）為在此領(lǐng)域獲得更大的主動權(quán)，紛紛成立國家照明工作委員會，LED現(xiàn)已產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，臺灣生產(chǎn)的LED已大量進入我國市場，為打破專利壟斷，中國成立了照明工作領(lǐng)導(dǎo)辦公室，中國將在2006年全面推廣半導(dǎo)體照明，屆時對NH3的需求將猛增。LED是利用超純氨同三甲基鎵（被稱為MO源）反應(yīng)，生成GaN半導(dǎo)體的，其反應(yīng)為650℃Ga(CH3)3+NH3 ，GaN+CH4N2 發(fā)達(dá)國家光電子發(fā)展速猛，處于成熟期，因此，極大推動氣體公司對氨提高純度的研究，AP公司的Solkatronic chemicals 推出的NH3純度達(dá)到6.4N，被稱為“Blue Ammonia”。它是采用工業(yè)氨經(jīng)吸附——精餾——深度化學(xué)凈化等聯(lián)合工藝，對氨進行凈化。亞洲的日本昭合電工株式會社，有電子級氨對外出售，目前，我國許多LED生產(chǎn)用戶所用的進口氨，基本上是普萊克斯、APCI和日本昭合電工。