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如圖所示，螺桿真空泵內(nèi)裝有一對(duì)平行的螺旋狀的轉(zhuǎn)子（1和2），其中一件轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向?yàn)橛倚�，另一件為左旋。兩個(gè)轉(zhuǎn)子在泵體（9）內(nèi)通過(guò)一對(duì)齒輪（3）保持同步反向旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵體之間沒有磨擦且保持一定的間隙，兩個(gè)轉(zhuǎn)子與泵體之間形成了密封腔（4），密封腔的個(gè)數(shù)等于轉(zhuǎn)子的螺旋圈數(shù)。兩個(gè)轉(zhuǎn)子在按圖中方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口（5）相連的密封腔的空間逐漸變大，氣體被吸入并被傳送到排氣側(cè)，排氣側(cè)的密封腔（6）空間在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中逐漸變小，氣體被壓縮到排氣口（7）。長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)需向泵體及端蓋的夾套（8）內(nèi)通入適量的冷卻水以對(duì)泵進(jìn)行冷卻。因壓縮熱主要在排氣側(cè)（6）產(chǎn)生，為了充分冷卻轉(zhuǎn)子，在多數(shù)工況下可以將適量的空氣或其它合適的氣體通過(guò)摻氣口（10）導(dǎo)入泵腔內(nèi)。

螺桿真空泵特點(diǎn)：

1、對(duì)被抽系統(tǒng)無(wú)污染，可獲得潔凈真空。

2、泵腔內(nèi)無(wú)油，非常容易實(shí)現(xiàn)對(duì)溶劑的回收或者排入焚燒爐內(nèi)焚燒。

3、結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。

4、單泵即可達(dá)到40Pa~5Pa的極限壓力，工作范圍較寬。

5、因工作過(guò)程中無(wú)廢油、廢水的排放，對(duì)環(huán)境無(wú)污染。

6、對(duì)冷卻水的要求較低，對(duì)于泵的冷卻，普通的循環(huán)水即可滿足要求，且冷卻水量較小。

7、根據(jù)系統(tǒng)工況配用合適的羅茨真空泵可組成干式真空泵機(jī)組，可大大提高低壓區(qū)的抽氣速率并減小功耗。

8、螺桿真空泵的級(jí)間無(wú)需通道，是直接將氣體從吸氣側(cè)推送至排氣側(cè)，在抽除9、可凝性氣體及粉塵等時(shí)不易堵塞且泵腔清洗非常方便。

10、螺桿真空泵可抽取易燃、易爆、有毒等可疑性氣體。