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拋光首要使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表層的硅原子在表層做氧化還原的動(dòng)力學(xué)步驟。這是化學(xué)反應(yīng)的主流。拋光表層反應(yīng)物脫離硅單晶表層，即解吸步驟使未反應(yīng)的硅單晶再次裸露出來(lái)的動(dòng)力學(xué)步驟。它是抑制拋光速率的另一個(gè)關(guān)鍵步驟。假如化學(xué)腐蝕功效大于機(jī)械拋光功效，則拋光片表層產(chǎn)生腐蝕坑、桔皮狀波紋。假如機(jī)械磨削功效大于化學(xué)腐蝕功效，則表層產(chǎn)生高損壞層！

探擎科技專注磨削液研究的分析檢測(cè)項(xiàng)目：

成分分析：對(duì)東西中的主要助劑組成成分通過(guò)儀器分析得到有關(guān)微觀譜圖比對(duì)譜圖數(shù)據(jù)庫(kù)定性定量分析出所有成分組分。

提供制造：在定性定量分析出磨削液研究配方組分后，若企業(yè)有條件，可在固定程度上輔助廠家做制造

配方成分分析檢測(cè)：通過(guò)分析所有成分助劑及其含量，解析出磨削液研究。

不明物分析：就磨削液研究中的不明物，確定其助劑組成成分，提供企業(yè)定性定量分析出該不明物是如何產(chǎn)生的。

探擎科技定性定量分析磨削液研究配方組分的實(shí)力：

（1）先進(jìn)的檢測(cè)儀器：探擎科技自行建立實(shí)驗(yàn)室，具有多臺(tái)先進(jìn)儀器，能多方面定性定量分析東西，得到圖譜

（2）核心的定性定量分析技術(shù)員：探擎科技具有專業(yè)的分析還原技術(shù)員和嫻熟的方面制造研究經(jīng)驗(yàn)知識(shí)，幫助企業(yè)消除化工配方組分問(wèn)題。

（3）嫻熟的譜圖庫(kù)：探擎科技積累了深厚的配方組分解析經(jīng)驗(yàn)知識(shí)，具有較大的譜圖庫(kù)庫(kù)。

（4）后期方案：探擎科技可以參照廠家需求，提供后期跟蹤技術(shù)性方案。