微小管壁厚度測(cè)量-光譜共焦傳感器-藍(lán)海精密 |
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ERT先進(jìn)的表面輪廓測(cè)量與檢測(cè)
便攜式三維輪廓測(cè)量?jī)x 儀器設(shè)備的基本技術(shù)參數(shù) ● ?型號(hào):MS100 ● ?XY軸行程:100mm x 100mm ● ?Z軸行程:100mm ● ?Z軸量程:4mm(可選配50nm-24mm) ● ?光斑直徑:8um(可根據(jù)光筆不同型號(hào)選擇,小可小于2um) ● ?XY軸分辨率:50nm ● ?XY軸平面度:<2um ● ?XY軸重復(fù)定位精度:0.5um ● ?Z軸線性度:0.01%F.S ● ?Z軸分辨率:0.13um(根據(jù)不同型號(hào)光筆小為14nm) ● ?XY軸大掃描速度:20mm/s ● ?樣品可測(cè)大傾角:漫反射表面大87度 ● ?適用范圍:任何材質(zhì)表面,尤其對(duì)玻璃、鏡面、高光表面均可進(jìn)行穩(wěn)定測(cè)試 功能與應(yīng)用 ● 產(chǎn)品表面段差、高度、寬度、平面度測(cè)量 ● 多層透明體厚度測(cè)量 ● ?2D輪廓/3D微觀形貌掃描分析 ● ?2D/3D粗糙度測(cè)量 ● ?可配合產(chǎn)線定制非標(biāo)自動(dòng)化檢測(cè)方案等
光譜共焦位移傳感器原理簡(jiǎn)介 ? ? ?1. 一束白光穿過(guò)小孔S,照射在色散鏡頭組L上。色散鏡頭組把白光分解成不同波長(zhǎng)的單色光,每一個(gè)波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)固定的距離值。
? ? ?2. 當(dāng)對(duì)象出現(xiàn)在測(cè)量區(qū)域的時(shí)候,一個(gè)特定波長(zhǎng)的單色光正好照射在其表面,并且反射進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)。
? ? ?3. 此反射光通過(guò)一個(gè)小孔S,,(只有完美聚焦在被測(cè)體表面的光才可以穿過(guò)這個(gè)小孔),由波長(zhǎng)識(shí)別系統(tǒng)(光譜儀)識(shí)別其波長(zhǎng),從而得到其所代表的精確距離值。
? ? ? 4.由光源射出一束寬光譜的復(fù)色光(呈白色),通過(guò)色散鏡頭發(fā)生光譜色散,形成不同波長(zhǎng)的單色光。每一個(gè)波長(zhǎng)的焦點(diǎn)都對(duì)應(yīng)一個(gè)距離值。測(cè)量光射到物體表面被反射回來(lái),只有滿足共焦條件的單色光,可以通過(guò)小孔被光譜儀感測(cè)到。通過(guò)計(jì)算被感測(cè)到的焦點(diǎn)的波長(zhǎng),換算獲得距離值.
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