HEIDENHAIN光柵尺

HEIDENHAIN光柵尺

光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應(yīng)速度快的特點。例如，在數(shù)控機床中常用于對刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個補償?shù)毒叩倪\動誤差的作用。

HEIDENHAIN光柵尺

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HEIDENHAIN光柵尺

封閉式光柵尺能有效防塵、防切屑和防飛濺的切削液，是用于機床的理想選擇。 
敞開式光柵尺與讀數(shù)頭和光柵尺或鋼帶間沒有機械接觸。這些光柵尺的典型應(yīng)用包括：測量機、
比較儀和其它長度計量精密設(shè)備以及生產(chǎn)和測量設(shè)備，例如用在半導(dǎo)體工業(yè)中。 
增量式光柵尺決定當(dāng)前位置的方式是由原點開始數(shù)測量步距或細(xì)分電路的計數(shù)信號數(shù)量。海德漢
的增量式光柵尺帶有參考點，開機時必須執(zhí)行參考點回零，操作非常簡單、快捷。 
絕對式光柵尺無需執(zhí)行參考點回零操作就能直接提供當(dāng)前位置值。光柵尺的絕對位置值通過
EnDat接口或其它串行接口傳輸。

封閉式直線光柵尺

海德漢公司的封閉式直線光柵尺能有效防 塵、防切屑和防飛濺的切削液，是用于機 床的理想選 
擇。
精度等級 ± 2 μm
測量步距至 0,001 μm
測量長度至30 m
安裝簡單、快捷
安裝公差大
能承受大加速度載荷
抗污染能力強

封閉式直線光柵尺有
標(biāo)準(zhǔn)光柵尺外殼
– 用于振動強烈的應(yīng)用
– 最大測量長度30 m
緊湊光柵尺外殼
– 用于有限安裝空間應(yīng)用
– 最大測量長度1240 mm， 如果用安裝板或緊固件，最大測量長 度2040 mm
海德漢封閉式直線光柵尺的鋁外殼有效保 護(hù)光柵尺、讀數(shù)頭和導(dǎo)軌，避免其受灰 塵、切屑和切削液的影響。 自動向下壓的 彈性密封條保持外殼密封。 

讀數(shù)頭沿光柵尺的小摩擦力導(dǎo)軌運動。 讀 數(shù)頭通過一個聯(lián)軸器與外部安裝架連接， 聯(lián)軸器可 
以補償光柵尺與機床導(dǎo)軌間不可 避免的對正誤差。

NC數(shù)控機床用直線光柵尺

用于數(shù)控機床的海德漢直線光柵尺幾乎適用于任何應(yīng)用。它是所有進(jìn)給軸為伺服控制環(huán)模式的機器和設(shè)備的選擇，例如銑床、加工中心、鏜床、車床和磨床。 直線光柵尺的動態(tài)性能優(yōu)點，允許的運動速度高，沿測量方向的加速性能使其不僅能滿足常規(guī)軸高動態(tài)性能要求，也能滿足直接驅(qū)動電機的高動態(tài)性能要求。

緊湊外殼直線光柵尺

緊湊外殼的直線光柵尺設(shè)計用于安裝空間有限的地方。 如果測量長度較大和加速負(fù)荷較大，可 
能需要使用安裝板或固定件。

標(biāo)準(zhǔn)外殼直線光柵尺

標(biāo)準(zhǔn)外殼直線光柵尺突出特點是結(jié)構(gòu)堅固、抗振能力強和測量長度大。讀數(shù)頭通過一個斜板連接 
安裝架，因此允許垂直安裝和水平安裝，并具有相同的防護(hù)等級。 
直線光柵尺用于手動機床

對于銑床或車床等手動機床的典型應(yīng)用，10 μm或5 μm的顯示步距足以滿足應(yīng)用要求。LS 300 
和LS 600系列直線光柵尺提供這樣的顯示步距，其1米行程范圍的精度等級為± 10 μm。
帶滾柱導(dǎo)軌的增量式直線光柵尺LS 1679

LS 1679是為折彎機特別開發(fā)的。其高精度和高重復(fù)精度的基礎(chǔ)是高精度的玻璃光柵尺和高質(zhì)量 
的內(nèi)置軸承。優(yōu)質(zhì)鋼的導(dǎo)軌和滾柱軸承副使其非常堅固耐用。連接床身的方式有多種，球頭連接 
的自由度最高。除5 μm測量步距的標(biāo)準(zhǔn)分辨率外，還提供1 μm版。為是安裝到兩個C形立柱 
上，提供右側(cè)電纜引線和左側(cè)電纜引線版。 
敞開式直線光柵尺

敞開式直線光柵尺設(shè)計用于對測量精度要求極高的機床和系統(tǒng)。 

典型應(yīng)用包括：
半導(dǎo)體業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
PCB電路板組裝機
超高精度機床
高精度機床
測量機和比較儀，測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備
直驅(qū)電機

533110-02

534904-04

393000-14 AE ERM 280

1131753-17 ROQ425

376837-02 ROD 436 2048

232715-03 MT 25P 02S09 04 

331667-01

651871-01 AK LIC 401 

658492-01

310127-03

594878-01

369428-01 AK LIDA 48

332433-05

810800-24 ECN 113-2048

533631-03 PWM 20/IK 215 

533631-03 PWM 20/IK 215 

360645-06

1117852-03

805375-03

310128-06

337147-01

310125-03

310573-03

369129-03 PWM 20/IK 

727222-57 ERN 1381-2048

337148-01

359651-02 CC 422

358699-03 RON 285 18000

535046-N2

318118-07 AK LIDA 18C

HEIDENHAIN光柵尺

莫爾條紋

以透射光柵為例，當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ，并且兩個光柵尺刻面相對平行放置時，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋”嚴(yán)格地說，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度，以W表示。
[莫爾條紋] 莫爾條紋
W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。 
莫爾條紋具有以下特征：
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對移過一個柵距，莫爾條紋移過一個條紋距離。由于光的衍射與干涉作用，莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù)，變化周期數(shù)與光柵相對位移的柵距數(shù)同步。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中，θ的單位為rad，W的單位為mm。由于傾角很小，sinθ很小，則
W=ω /θ
若ω =0．01mm，θ=0.01rad，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。

HEIDENHAIN光柵尺

有三種不同的機械結(jié)構(gòu)：

封閉式角度編碼器、空心軸和內(nèi)置定子聯(lián)軸器的角度編碼器

由于定子聯(lián)軸器的結(jié)構(gòu)和安裝原因，軸進(jìn)行角加速度時，定子聯(lián)軸器必須只吸收軸承摩擦所導(dǎo)致 
的扭矩。因此RCN、RON和RPN角度編碼器具有出色的動態(tài)性能。對內(nèi)置定子聯(lián)軸器的角度編碼器 
，技術(shù)參數(shù)中的系統(tǒng)精度已包括聯(lián)軸器的偏差。：  

更多優(yōu)點
尺寸小，適用于安裝空間有限的地方
空心軸直徑可達(dá)100 mm，便于穿電源線等
安裝簡單

封閉式角度編碼器，采用分離聯(lián)軸器

采用分離聯(lián)軸器、實心軸的ROD角度編碼器特別適用于軸轉(zhuǎn)速高并要求較大公差的應(yīng)用。高精度 
的聯(lián)軸器允許± 1 mm以內(nèi)的軸向運動。

光學(xué)掃描的模塊型角度編碼器

無內(nèi)置軸承的ERA和ERO角度編碼器（模塊式角度編碼器）適用于安裝在機器部件或裝置上。用于 
滿足以下需求： 
大直徑空心軸（最大可達(dá)10 m的帶尺） 
軸轉(zhuǎn)速高，最高可達(dá)20000 rpm
沒有軸密封帶來的附加啟動扭矩 
扇形角 

磁性掃描的模塊型角度編碼器

海德漢公司的ERM系列模塊化編碼器由一 個磁柵鼓和一個磁阻傳感器掃描單元組 成。其測量基 
準(zhǔn)MAGNODUR和磁阻掃描 原理使其對污染特別不敏感。

角度編碼器模塊

海德漢的角度編碼器模塊由角度編碼器與高精度軸承組成，并已調(diào)整至是配合狀態(tài)。該角度編 
碼器模塊的特點是測量精度及軸承精度高，且分辨率極高并具有最高重復(fù)精度。啟動扭矩低，因 
此運動平穩(wěn)。
玻璃圓光柵碼盤的角度編碼器

應(yīng)用領(lǐng)域： 高重復(fù)精度和高分辨率的旋轉(zhuǎn)軸
- 極高信號周期數(shù)
- 較小安裝空間
- 較小細(xì)分誤差和較低信號噪音
鋼光柵鼓光柵的角度編碼器

應(yīng)用領(lǐng)域： 回轉(zhuǎn)工作臺，擺動銑頭，高精度和高動態(tài)性能電機
- 直徑范圍大
- 允許的軸速高
- 高精度
- 多種柵鼓形狀
- 多種每圈線數(shù)
- 防護(hù)蓋，提高抗污能力
鋼帶光柵的角度編碼器

應(yīng)用領(lǐng)域：大型回轉(zhuǎn)工作臺，天文望遠(yuǎn)鏡，特殊應(yīng)用
- 直徑范圍大
-  整圓版和非整圓版
- 多種直徑可選
- 高精度
- 內(nèi)側(cè)或外側(cè)光柵尺帶
模塊式磁柵編碼器

堅固耐用的ERM模塊式磁柵編碼器特別適用于生產(chǎn)型機床。 它的內(nèi)徑大，讀數(shù)頭尺寸小和結(jié)構(gòu)緊 
湊使它成為以下應(yīng)用的理想選擇： 
車床C軸，
回轉(zhuǎn)和擺動軸（例如直接驅(qū)動系統(tǒng)的速度測量或用在齒輪傳動中），和 
銑床主軸或輔助軸的定向。
角度編碼器模塊

810416-01

810421-01

557647-08

643450-03 PWM 20/IK

1131752-06 ROQ424 512

209081-16 LS903 520

232715-03 MT 25P 02S09 04 

617765-N2

348249-01

810415-01

533631-05

823901-52 EQN 1325

533631-06

805452-03

533631-09

735117-56

533110-01

355884-01 RON 786 18000 

310128-03

557673-14

557679-11 LC 183 ML 1140mm

331589-2F AK ERA 180 18000 02S12-03

243602-06 MT 12 02S09 04

810800-24 ECN 113-2048

894602-01 DA 400

331314-02 MT 1281 02S12 03

376846-KA ROD426400002S12-03

635066-56 ERN 1381 2048 62S14-70

605379-01 LS 477 ML70mm

682434-08 LF185C 740

ROD431  ID：317393-02

 LS476  720毫米 + -5um

 LS477 ML720 + -5um

 LS177 ML2240 + -5um,TTLX5

 LS177 ML1140 + -5um,TTLX5

ERN1387-2048, ID:385488-52

RON350-2408ID：25442603

 RON350-2048ID：254426-04

RCN1132048 ID：528100-30

ST 1278 93S15 7K A TTLx10 100.00 OT 01 .. 01 5mm 90 1.50 19 67 1.0 383965-23   

ST 1207 02S09 7K A ~11μApp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 383972-01   

ST 1277 93S15 7K A TTLx5 100.00 OT 01 .. 01 5mm 90 1.50 19 64 1.0 383973-01   

ST 1277 93S15 7K A TTLx10 100.00 OT 01 .. 01 5mm 90 1.50 19 64 1.0 383973-02   

ST 1287 02S12 7K A ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 383975-01   

ST 1208 02S09 7K A ~11μApp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 383976-01 

ST 1208 02S09 7K R ~11μApp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 383977-01   

ST 1288 02S12 7K A ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 383978-01   

ST 1288 02S12 7K A ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 67 1.0 383978-21   

ST 1288 02S12 7K R ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 383979-01   

ST 1288 02S12 7K R ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 67 1.0 383979-21   

ST 1288 16S15 7K A ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 383987-01   

ST 1288 16S15 7K A ~1Vpp 0.00 .. 01 0001 01 5mm 360 1.50 19 50 1.0 383987-03   

ST 1288 16S15 7K A ~1Vpp 0.00 .. 01 0023 01 5mm 360 1.50 19 50 1.0 383987-04   

ST 1288 16S15 7K A ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 67 1.0 383987-21   

ST 1288 16S15 7K R ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 383989-01   

ST 1288 16S15 7K R ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 67 1.0 383989-21   

ST 1287 16S15 7K A ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 384005-01   

MT 25 16S15 2D ~11μApp 01 0002 1.50 01 5.5mm 50 ES 10.000 GF 01 0.5 663955-01   

MT 25 16S15 2D ~11μApp 01 .. 1.50 01 5.5mm 50 ES 10.000 GF 01 0.5 663955-07   

AT 1217 3YS08 C4 EnDat22 23 01 .. 01 64 GF 03 2.0 12 680982-01   

AT 1218 3YS08 C4 EnDat22 23 01 .. 01 67 GF 01 2.0 12 680983-01   

AT 3017 3YS08 C4 EnDat22 368 01 .. 01 A1 GF 03 2.0 30 680984-02   

AT 3018 3YS08 C4 EnDat22 368 01 .. 01 67 GF 01 2.0 30 680985-02 

533631-03  PWM 20/IK 215 

607720-01  

760907-09  LC 195F ML 940mm 

533631-09  

360645-03  CABLE 3m

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