光譜共焦傳感器-共聚焦測量技術(shù) |
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什么是光譜共焦測量原理呢?
白色光通過一個(gè)半透鏡面到達(dá)凸透鏡。上述特殊色差就在這里產(chǎn)生。光線照射到被測物體后發(fā)生反射,透過凸透鏡,返回到傳感器探頭內(nèi)的半透鏡上。半透鏡將反射光折射到一個(gè)穿孔蓋板上,小孔只允許聚焦最好的反射光通過。透過穿孔蓋板的光是一組模糊光譜,也就是說若干不同波長的光都有可能穿過小孔照在CCD感光矩陣單元上。但是只有在被測物體上聚焦的反射光擁有足夠光強(qiáng),在CCD感光矩陣上產(chǎn)生一個(gè)明顯的波峰。
在穿孔蓋板后面,需要一個(gè)分光器測量反射光的顏色信息。分光器類似一個(gè)特制光柵,可以根據(jù)反射光的波長,增強(qiáng)或減弱折射率。因此,CCD矩陣上的每一個(gè)位置,對應(yīng)一個(gè)測量物體到探頭的距離。在整個(gè)量程上,共可以得到超過30,000個(gè)測量點(diǎn)。
這里只計(jì)算光線波長,用以產(chǎn)生測量信號。反射光產(chǎn)生的信號波峰振幅并不在信號測量依據(jù)之內(nèi)。也就是說反射光的光強(qiáng)不會影響測量結(jié)果。 這意味著,無論有多少反射光從被測物體反射回來,測量的距離結(jié)果可能是不變的。因?yàn)榉瓷涔獾墓鈴?qiáng)僅僅取決于反射物體的反光程度。因此,采用德國米銥公司的光譜共焦傳感器,即使被測物體是強(qiáng)吸光材料,如黑色橡膠;或者是透明材料,如玻璃或者液體,都可以進(jìn)行正?煽康臏y量。
與激光三角反射式位移傳感器相比,采用光譜共焦式位移傳感器測量曲面玻璃的優(yōu)勢: 1)由于光譜共焦傳感器采用分析光譜成分對應(yīng)距離變化的原理,相比激光三角反射式傳感器通過反射光斑在CCD上的位置換算距離變化的原理,光譜共焦傳感器測量結(jié)果更加穩(wěn)定,分辨率和線性度更好。實(shí)際的測量項(xiàng)目中,采用米銥光譜共焦位移傳感器后,整個(gè)測量機(jī)臺的重復(fù)性甚至可達(dá)亞微米級別。 2)對于曲面玻璃邊沿較大角度的位置,光譜共焦位移傳感器可以獲得更大可測量區(qū)域。 3)激光三角反射式傳感器更加適合測量漫反射被測物。而對于鏡面反射的曲面玻璃,同軸測量原理的光譜共焦位移傳感器更加適用。 4)光譜共焦位移傳感器的測量光斑更小,測量頻率更高,適合快速捕捉微小結(jié)構(gòu)的位置變化。
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