1.微塵粒子:微小的塵,多指十分細小的灰塵。細的粉末、灰塵顆粒的直徑一般在百分之一毫米至幾百分之一毫米之間,是人的肉眼看不見的。有些行業(yè),例如,半導體廠IC的制造對氣體的潔凈度要求極其嚴謹,尤其是對微塵粒子的控制及管理,關乎企業(yè)產(chǎn)品的質(zhì)量。無塵車間微塵粒子管理規(guī)定目的:制定無塵車間作業(yè)環(huán)境的監(jiān)控和測量通用指示,使無塵車間的作業(yè)環(huán)境處于受控狀態(tài),從而保證產(chǎn)品的質(zhì)量。
2.測試儀器及方法:測試儀使用灰塵粒子計數(shù)器;使用方法參見《灰塵粒子計數(shù)器使用說明》。
3.測試頻率:無塵度測試分日測試和月測試,日測試作業(yè)部門白/晚班需各測試2次;白班10:00及13:00左右進行測試;晚班22:00及3:00左右進行測試;月測試頻率具體測試時間為每月15號左右,開線生產(chǎn)后隨機抽測;
4.管理方法:各無塵度記錄擔當者按規(guī)定時間測試無塵度并填寫《微塵度實測記錄表》。如果溫濕度值超過規(guī)定值范圍之外時,立即通知生產(chǎn)主管停止產(chǎn)線作業(yè),并要求責任人立刻進行改善,當無塵度值達到控制的范圍后方可再恢復生產(chǎn);同時發(fā)《IPQC不良改善通知書》要求相關部門擬對策,并追蹤有效性。
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