光譜共焦傳感器-微型孔徑、內(nèi)腔測(cè)量(90°側(cè)面出光) |
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光譜共焦傳感器是一種精度可達(dá)次微米量級(jí)的非接觸式位移測(cè)量系統(tǒng),對(duì)于表面漫反射或鏡反射之物體乃至透明材質(zhì)皆可測(cè)量其位移或厚度,基于出光與回傳信號(hào)路徑同軸之特性,光譜共焦傳感器亦適合于 深孔/盲孔工件等量測(cè)應(yīng)用 原理: 光譜共焦傳感器乃利用特制彩色編碼鏡頭使可見(jiàn)光產(chǎn)生軸向色散輸出,并經(jīng)由光譜解析器解析共焦回傳光波信號(hào),后透過(guò)波長(zhǎng)與位移轉(zhuǎn)換曲線計(jì)算出工件位移測(cè)量值
特點(diǎn): 非接觸式光學(xué)共焦測(cè)量技術(shù), 具有超高分辨率及同光軸回傳訊號(hào)不會(huì)被遮擋之特性 光纖傳輸彩色編碼測(cè)頭設(shè)計(jì), 其結(jié)構(gòu)輕巧且內(nèi)部不含電子零件而不受環(huán)境干擾影響 采用白光(可見(jiàn)光)光源系統(tǒng),相較激光光源而言安全防護(hù)要求低 獨(dú)特多層材質(zhì)量測(cè)演算法, 可測(cè)量透明/半透明多層材質(zhì)間之厚度或間隙
光譜共焦技術(shù)測(cè)量原理
利用波長(zhǎng)信息測(cè)量距離 由光源射出一束寬光譜的復(fù)色光(呈白色),通過(guò)色散鏡頭發(fā)生光譜色散,形成不同波長(zhǎng)的單色光。每一個(gè)波長(zhǎng)的焦點(diǎn)都對(duì)應(yīng)一個(gè)距離值。測(cè)量光射到物體表面被反射回來(lái),只有滿足共焦條件的單色光,可以通過(guò)小孔被光譜儀感測(cè)到。通過(guò)計(jì)算被感測(cè)到的焦點(diǎn)的波長(zhǎng),換算獲得距離值。
主要型號(hào)參數(shù)
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