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ERT光譜共焦輪廓傳感器 MicroView 光譜共焦輪廓傳感器測(cè)量頭 光譜共焦輪廓傳感器運(yùn)用創(chuàng)新性的多通道共焦測(cè)量技術(shù),單次在樣品表面投射180個(gè)測(cè)量點(diǎn),每個(gè)測(cè)量點(diǎn)對(duì)應(yīng)單獨(dú)的測(cè)量通道,經(jīng)多次測(cè)量即可獲取樣品三維輪廓數(shù)據(jù)。
光譜共焦輪廓傳感器擁有超高的測(cè)量頻率,速率可達(dá)2000行/秒(每秒獲取高達(dá)36萬(wàn)個(gè)測(cè)量點(diǎn)),是兼具高效與高精度特性的在線檢測(cè)解決方案。 測(cè)量原理 光譜共焦輪廓傳感器采用多通道共焦測(cè)量技術(shù),LED光源發(fā)射出的光線經(jīng)180條光纖傳輸后組成180個(gè)測(cè)量點(diǎn),每個(gè)測(cè)量點(diǎn)的反射光線經(jīng)控制器處理,從而得到樣品表面三維數(shù)據(jù)。 光譜共焦輪廓傳感器 光譜共焦輪廓傳感器由MPLS控制器、連接光纖和專用測(cè)量頭組成,MPLS控制器包含MPLS 180和MPLS-DM型號(hào)。技術(shù)優(yōu)勢(shì)如下: · 創(chuàng)新性的多通道共焦測(cè)量技術(shù) · 180通道線掃描模式 · 掃描速率2000次/秒,單次獲取36萬(wàn)個(gè)測(cè)量點(diǎn)數(shù)據(jù) · 超高分辨率與測(cè)量精度
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