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ERT光譜共焦傳感器測量技術(shù)

新技術(shù)，新可能

      使用光譜共焦測量技術(shù)，可以得到超高分辨率。納米級分辨率源于上述經(jīng)過特殊處理得到的加長光譜范圍。由于采用檢測焦點的顏色，得到距離信息，光譜共焦傳感器可以采用非常小的測量光斑，從而允許測量非常小的被測物體。這也意味著，即使被測表面有非常輕微的劃痕，也逃不過光譜共焦傳感器的眼睛。

      由于光譜共焦傳感器的光路非常緊湊和集中，使其非常適合測量鉆孔結(jié)構(gòu)。而其他測量方式，如激光三角反射式測量，對于小孔往往無能為力，因為小孔形成的陰影會遮擋反射光的光路，無法進(jìn)行測量。針對這種小孔測量任務(wù)，有公司推出了微型光譜共焦傳感器探頭。這種探頭擁有僅4mm的探頭直徑，可以探入小孔內(nèi)部進(jìn)行測量。

      由于測量只使用白光，無需額外附加激光安全措施。由于探頭本身不含有任何電路，傳感器探頭還可以被用于有防爆要求的環(huán)境或者有電磁干擾要求的環(huán)境。而控制器可以被放置于安全距離以外。允許長50m的光纖連接探頭和控制器。但是，需要禁止在光路上存在遮擋物或小顆粒，這會影響測量精度，甚至使測量變得不可完成。由于采用的是光學(xué)測量方法，探頭到被測物體的距離也有一定限制。

ERT多通道色散共焦傳感器

   多路復(fù)用傳感器特點：

   有2路CCS PRIMA2或4路通道CCS PRIMA4光譜共焦傳感器供選擇; 高采樣頻率可達(dá)2000HZ；

  多路復(fù)用通道：同時可以把所有傳感器連接到控制器上，但一次只能有一個在使用，通道切換時間<400ms;

  雙通道傳感器

1、表中給出的數(shù)值是典型值，LHCLO，LHCL2，LHCL3，LHCL4有±3%的偏差；LHCL1，LHCL5，LHCL6有±6%的偏差；

2、大可測傾角是指針對鏡面反射表面時的極限角度值。漫反射表面的大可測傾角可達(dá)87;

3、在量程中間位置時的光斑尺寸，靠量程近端光斑更小，靠量程遠(yuǎn)端光斑更大，從中心分別到近端遠(yuǎn)端差異10%左右；

   4、光度收集率是指由不同的測頭測量同一樣品收集的能量，是相對單位量，此表中的數(shù)值為典型值。測量高度反射的樣品時，選擇低光度收集率的型號，為了          避免飽和，測量擴(kuò)散或低反射的樣品時，選擇具有高光度收集率型號，以避免一個非常低的信號與噪聲比例；

   5、軸向分辨率RMS是對靜止樣品測得的噪聲電平。在量程的中心，以優(yōu)秀的速率進(jìn)行測量，內(nèi)部的平均分別設(shè)定為1-10。此參數(shù)為校準(zhǔn)后立即測量，并對應(yīng)交付每個傳感器的校準(zhǔn)證書；

   6、精度是由1nm精度的編碼器做比較校準(zhǔn)，由所述傳感器測量距離時，在整個測量范圍內(nèi)的大誤差。使用以下設(shè)置：自動適應(yīng)LED模式，優(yōu)的速度，傾角為0。，內(nèi)部平均=測量值/10。此參數(shù)為校準(zhǔn)后立即測量，并指定每個傳感器的校準(zhǔn)證書交付；

   7、小可測量的Ra的精度取決于樣品的恃性，表中所給的值是典型的；

   8、在優(yōu)秀的速度下，測量范圍的中心，測量的典型值，不加平均。折射率=1.5個樣本（測量空氣間隙應(yīng)除以1 5的厚度時）；

   9、可測半徑為測頭直徑加工作距離。