ERT/LHPIT光譜共焦傳感器 |
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光譜共焦技術(shù)測量原理
利用波長信息測量距離 由光源射出一束寬光譜的復(fù)色光(呈白色),通過色散鏡頭發(fā)生光譜色散,形成不同波長的單色光。每一個(gè)波長的焦點(diǎn)都對(duì)應(yīng)一個(gè)距離值。測量光射到物體表面被反射回來,只有滿足共焦條件的單色光,可以通過小孔被光譜儀感測到。通過計(jì)算被感測到的焦點(diǎn)的波長,換算獲得距離值。
主要型號(hào)參數(shù)
系列1 安裝距離:11mm 量程:±200 線性度:±0.025%F.S. 分辨率:10nm 光斑:10um
系列2 安裝距離:12.7mm 量程:±650 線性度:±0.025%F.S. 分辨率:20nm 光斑:12um
OP4-Fe 安裝距離:19mm 量程:±2000 線性度:±0.025%F.S. 分辨率:40nm 光斑:20um
系列3 安裝距離:24mm 量程:±5000 線性度:±0.025%F.S. 分辨率:300nm 光斑:25um
光譜共焦原理的優(yōu)點(diǎn):
全息性:理論上每一束返回光譜分析儀的光線都用它的波長攜帶了距離信息,部分光被遮擋影響小。
無陰影效應(yīng):光從四面八方照射到樣品,激光原理一個(gè)方向被遮擋無法測量的區(qū)域,共焦更容易解決。
可以測量各種表面:鏡面、彎曲或傾斜的鏡面、粗糙面、透明、液滴表面等的測量都變得容易。
高分辨率:理論上波長可以無限細(xì)分,理想鏡頭具有無限分辨率。
溫度穩(wěn)定性好:鏡頭本身不發(fā)熱,溫度漂移小。對(duì)于微米以及亞微米級(jí)的測量,溫度穩(wěn)定是很關(guān)鍵的。
自動(dòng)聚焦:在量程范圍內(nèi),被測物的位置上下變動(dòng)時(shí)都有相應(yīng)的波長的光聚焦到物體表面。
橫向分辨率高:測量光斑小,而且總是在焦點(diǎn)上,能分辨被測物上的微小輪廓變化。
模塊化小型化:鏡頭和解碼部分可以通過光纖連接,傳輸距離遠(yuǎn),鏡頭可以做得很小。
調(diào)頻抗干擾:波長是調(diào)頻信號(hào),對(duì)光強(qiáng)變化等調(diào)幅干擾不敏感。光纖對(duì)電磁干擾、雷電浪涌不敏感。
透明材料厚度測量:當(dāng)被測物透明且有兩個(gè)表面,就會(huì)有兩個(gè)波長的光返回得到厚度值。
安全性高:長壽命的LED光源,微小功率的白光,比激光對(duì)人眼更安全,不受限于激光危害等級(jí)。
高防護(hù):控制器高防護(hù)等級(jí),光纖可提供不銹鋼外套版本,防蟲害鼠咬。
維護(hù)和服務(wù):模塊化光源,一分鐘快速更換。國內(nèi)技術(shù)和配套支持,保修、維護(hù)、校準(zhǔn)方便。
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