光譜共焦傳感器高速測(cè)量高精度 |
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光譜共焦傳感器的廣泛工業(yè)應(yīng)用表現(xiàn)高超
與激光三角反射式位移傳感器相比,采用光譜共焦式位移傳感器測(cè)量曲面玻璃的優(yōu)勢(shì):
1)由于光譜共焦傳感器采用分析光譜成分對(duì)應(yīng)距離變化的原理,相比激光三角反射式傳感器通過(guò)反射光斑在CCD上的位置換算距離變化的原理,光譜共焦傳感器測(cè)量結(jié)果更加穩(wěn)定,分辨率和線性度更好。實(shí)際的測(cè)量項(xiàng)目中,采用米銥光譜共焦位移傳感器后,整個(gè)測(cè)量機(jī)臺(tái)的重復(fù)性甚至可達(dá)亞微米級(jí)別。
2)對(duì)于曲面玻璃邊沿較大角度的位置,光譜共焦位移傳感器可以獲得更大可測(cè)量區(qū)域。
3)激光三角反射式傳感器更加適合測(cè)量漫反射被測(cè)物。而對(duì)于鏡面反射的曲面玻璃,同軸測(cè)量原理的光譜共焦位移傳感器更加適用。
4)光譜共焦位移傳感器的測(cè)量光斑更小,測(cè)量頻率更高,適合快速捕捉微小結(jié)構(gòu)的位置變化。
- 量程 (mm): 2.5 | 10 - 線性度最大0.75?m - 分辨率最大0.024?m - 距離檢測(cè) - 微小測(cè)量光斑 - 真空適用探頭
ERT系列光譜共焦式位移傳感器是專門(mén)為高精度要求的測(cè)量任務(wù)而設(shè)計(jì)的。該系列擁有極高的敏感度,較大的安裝傾角和安裝距離,使它可用于多種應(yīng)用場(chǎng)合。除了反光與透明表面的距離測(cè)量以外,該傳感器還可以用于單向測(cè)量清潔薄膜,板材或多層結(jié)構(gòu)的厚度。 高精度緊湊型光譜共焦傳感器探頭系列,以其超高的測(cè)量精度和緊湊的幾何尺寸脫穎而出。該系列光譜共焦傳感器適用于測(cè)量反光面和透明物體,探頭也可以用于檢測(cè)透明薄膜,板材和涂層的厚度。源于其特別的軸向和徑向測(cè)量方式,IFS2406-2.5適合真空環(huán)境應(yīng)用以及其他多種應(yīng)用領(lǐng)域。
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