凈化工程概述層流式空氣流
控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中出產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在 某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化工程所特別設(shè)計(jì)的房間，不論外在空氣前提如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等機(jī)能。
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一平均之直線型，空氣由籠蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式合用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為Class 1~100。其型式可分為二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)峻。長處：構(gòu)造簡樸，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成不亂。缺點(diǎn)：建造用度比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器籠蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作職員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其它工作區(qū)域。長處：治理輕易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)不亂狀態(tài)，不易為功課狀態(tài)或功課職員所影響。缺點(diǎn)：構(gòu)造用度較高，彈性運(yùn)用空間難題，天花板之吊架相稱占空間，維修更換過濾器較麻煩。
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