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光譜共焦測量技術(shù)介紹

ERT作為三維表面測量與測量業(yè)界的不斷探索者，提供從微觀到航空發(fā)動機內(nèi)腔各部件等不同大小樣品的非接觸式測量分析。歷經(jīng)數(shù)多年的努力，在原有獨特技術(shù)的基礎(chǔ)上，不斷積累創(chuàng)新，來保證面對各種應(yīng)用環(huán)境時精確三維測量所需的高靈敏度和穩(wěn)定性；而這一挑戰(zhàn)往往是其他測量技術(shù)或測量系統(tǒng)難以克服的。ERT能夠提供工業(yè)上功能強大新型的圖形用戶界面。智能便捷的操作架構(gòu)，直觀的可視化工作流和廣泛的用戶定義的自動化能力的結(jié)合，使得用戶能夠快速有效的收集和分析數(shù)據(jù)�？勺詣由捎脩粜枰牡慕Y(jié)果報告。這些新特性讓先進(jìn)的表面測量報告與廣泛的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)相兼容。

    ERT測量系統(tǒng)在業(yè)界一直以優(yōu)質(zhì)服務(wù)著稱，在性能穩(wěn)定性上一貫口碑良好。從研究型實驗室到生產(chǎn)型車間和半導(dǎo)體無塵間，數(shù)以幾千計的系統(tǒng)被廣泛使用。作為專門為先進(jìn)質(zhì)量控制和研發(fā)設(shè)計的測量儀器，可用于精密加工制造類應(yīng)用的測量，在手機、汽車、航空航天、太陽能、半導(dǎo)體和醫(yī)療器械領(lǐng)域，ERT總有一款適合您應(yīng)用和與預(yù)算的光學(xué)測量系統(tǒng)。

ERT先進(jìn)的表面測量與檢測

便攜式三維輪廓測量儀

儀器設(shè)備的基本技術(shù)參數(shù)

●  型號:MS100

●  XY軸行程：100mm x 100mm

●  Z軸行程：100mm

●  Z軸量程：4mm(可選配50nm-24mm）

●  光斑直徑：8um(可根據(jù)光筆不同型號選擇，小可小于2um)

●  XY軸分辨率：50nm

●  XY軸平面度:<2um         

●  XY軸重復(fù)定位精度：0.5um

●  Z軸線性度：0.01%F.S

●  Z軸分辨率:0.13um(根據(jù)不同型號光筆小為14nm)

●  XY軸大掃描速度：20mm/s

●  樣品可測大傾角：漫反射表面大87度

●  適用范圍：任何材質(zhì)表面，尤其對玻璃、鏡面、高光表面均可進(jìn)行穩(wěn)定測試

功能與應(yīng)用

●  產(chǎn)品表面段差、高度、寬度、平面度測量

●  多層透明體厚度測量

●  2D輪廓/3D微觀形貌掃描分析

●  2D/3D粗糙度測量

●  可配合產(chǎn)線定制非標(biāo)自動化檢測方案等