光譜共焦傳感器測(cè)量PC板的翹曲度 |
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ERT先進(jìn)的表面測(cè)量與檢測(cè)
便攜式三維輪廓測(cè)量?jī)x 儀器設(shè)備的基本技術(shù)參數(shù) ● 型號(hào):MS100 ● XY軸行程:100mm x 100mm ● Z軸行程:100mm ● Z軸量程:4mm(可選配50nm-24mm) ● 光斑直徑:8um(可根據(jù)光筆不同型號(hào)選擇,小可小于2um) ● XY軸分辨率:50nm ● XY軸平面度:<2um ● XY軸重復(fù)定位精度:0.5um ● Z軸線(xiàn)性度:0.01%F.S ● Z軸分辨率:0.13um(根據(jù)不同型號(hào)光筆小為14nm) ● XY軸大掃描速度:20mm/s ● 樣品可測(cè)大傾角:漫反射表面大87度 ● 適用范圍:任何材質(zhì)表面,尤其對(duì)玻璃、鏡面、高光表面均可進(jìn)行穩(wěn)定測(cè)試 功能與應(yīng)用 ● 產(chǎn)品表面段差、高度、寬度、平面度測(cè)量 ● 多層透明體厚度測(cè)量 ● 2D輪廓/3D微觀形貌掃描分析 ● 2D/3D粗糙度測(cè)量 ● 可配合產(chǎn)線(xiàn)定制非標(biāo)自動(dòng)化檢測(cè)方案等
產(chǎn)品特點(diǎn): 非接觸式光學(xué)共焦測(cè)量技術(shù), 具有超高分辨率及同光軸回傳訊號(hào)不會(huì)被遮擋之特性 光纖傳輸彩色編碼測(cè)頭設(shè)計(jì), 其結(jié)構(gòu)輕巧且內(nèi)部不含電子零件而不受環(huán)境干擾影響 采用白光(可見(jiàn)光)光源系統(tǒng),相較激光光源而言安全防護(hù)要求低 獨(dú)特多層材質(zhì)量測(cè)演算法, 可測(cè)量透明/半透明多層材質(zhì)間之厚度或間隙
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