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光譜共焦傳感器的功能介紹

全新技術(shù)，區(qū)別于傳統(tǒng)三角測(cè)距法

由東莞藍(lán)海精密提供的ERT白光同軸共焦光譜檢測(cè)技術(shù)讓我們進(jìn)入納米級(jí)的測(cè)量領(lǐng)域

產(chǎn)品的獨(dú)特性能

1. 產(chǎn)品原理：全新的光譜共焦原理，可測(cè)量距離和厚度；

2. 任何材質(zhì)和表面：包括鏡面、玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體、高光金屬等表面均可進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量；

3. 超高精度測(cè)量：最小線性度可達(dá)0.03μm，最高分辨率為0.3 nm；

4. 從100μm-42 mm的可選量程；

5. 超高采樣頻率：2K-60KHz，用于生產(chǎn)線，替代人工并提高合格率；

6. 測(cè)量范圍極廣，幾乎無(wú)死角，解決激光三角法測(cè)量無(wú)法回避的因表面材質(zhì)變化或傾斜而導(dǎo)致測(cè)量誤差 等問(wèn)題，最大可測(cè)傾角87度；

7. 可進(jìn)行透明工件（LCD、LCM、手機(jī)攝像頭等）多層厚度的精確測(cè)量，最小可測(cè)量厚度為400 nm；

8. 可用于實(shí)驗(yàn)室的2D輪廓測(cè)量、3D微觀形貌分析、表面粗糙度測(cè)量，到工業(yè)在線檢測(cè)、自動(dòng)化控制等。

光譜共焦位移傳感器原理簡(jiǎn)介

1. 一束白光穿過(guò)小孔S，照射在色散鏡頭組L上。色散鏡頭組把白光分解成不同波長(zhǎng)的單色光，每一個(gè)波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)固定的距離值。

2. 當(dāng)對(duì)象出現(xiàn)在測(cè)量區(qū)域的時(shí)候，一個(gè)特定波長(zhǎng)的單色光正好照射在其表面，并且反射進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)。

3. 此反射光通過(guò)一個(gè)小孔S,,（只有完美聚焦在被測(cè)體表面的光才可以穿過(guò)這個(gè)小孔），由波長(zhǎng)識(shí)別系統(tǒng)(光譜儀)識(shí)別其波長(zhǎng)，從而得到其所代表的精確距離值。

4.由光源射出一束寬光譜的復(fù)色光（呈白色），通過(guò)色散鏡頭發(fā)生光譜色散，形成不同波長(zhǎng)的單色光。每一個(gè)波長(zhǎng)的焦點(diǎn)都對(duì)應(yīng)一個(gè)距離值。測(cè)量光射到物體表面被反射回來(lái)，只有滿足共焦條件的單色光，可以通過(guò)小孔被光譜儀感測(cè)到。通過(guò)計(jì)算被感測(cè)到的焦點(diǎn)的波長(zhǎng)，換算獲得距離值.

主要應(yīng)用領(lǐng)域：

粗糙度測(cè)量

得益于納米級(jí)精度及超好的角度特性，本同軸共焦位移傳感器契合ISO25178，可用于對(duì)表面粗糙度進(jìn)行高精度測(cè)量。相對(duì)于傳統(tǒng)的接觸式粗糙度儀，同軸共焦位移計(jì)以更高的速度采集粗糙度輪廓，并且對(duì)產(chǎn)品表面無(wú)任何損傷。

輪廓和3D形貌測(cè)量

集成于3D掃描系統(tǒng)上，本同軸共焦位移傳感器可以提供針對(duì)負(fù)載表面形貌的2D和3D測(cè)量數(shù)據(jù)。

透明體厚度測(cè)量

創(chuàng)新的同軸共焦原理使本傳感器可以直接透過(guò)透明件工件的前后表面測(cè)量厚度，整個(gè)過(guò)程僅需要使用一個(gè)傳感器從工件的一個(gè)側(cè)面測(cè)量。相對(duì)于三角反射原理的激光位移傳感器，本儀器因采用同軸光，從而可以更有效地測(cè)量弧工件的厚度。

液位控制測(cè)量

優(yōu)異的非接觸式同軸測(cè)量，我們傳感器可以檢測(cè)和測(cè)量液體的水平高度

在線檢測(cè)

高采樣頻率，小尺寸體積和卡放的數(shù)據(jù)接口，使本儀器非常容易集成至在線生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備中，實(shí)現(xiàn)線上檢測(cè)。

震動(dòng)測(cè)量

由于采用超高的采樣頻率和超高精度,同軸傳感器可以對(duì)震動(dòng)物件進(jìn)行測(cè)量,傳感器采用的非接觸設(shè)計(jì)，避免測(cè)量過(guò)程中對(duì)震動(dòng)物件造成干擾，同時(shí)可以對(duì)復(fù)雜區(qū)域進(jìn)行詳細(xì)的測(cè)量和分析。