Aerotech 超高精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) ABRT |
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Aerotech 超高精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) ABRT Aerotech 制造了龐大的精密旋轉(zhuǎn)平臺(tái)產(chǎn)品線供您選擇,型號(hào)包括使用我們自己的內(nèi)置無(wú)刷旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái),以及蝸輪蝸桿驅(qū)動(dòng)的定位轉(zhuǎn)臺(tái)。其中精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)包括精密空氣(氣浮)軸承直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)和精密機(jī)械軸承直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)。轉(zhuǎn)臺(tái)具有許多不同尺寸的通孔直徑、臺(tái)面直徑以及安裝選項(xiàng),為您的工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用提供理想的解決方案。平臺(tái)的擺動(dòng)、跳動(dòng)、角度定位和速度穩(wěn)定性都非常出色。Aerotech 的定位平臺(tái)非常適合用于工業(yè)機(jī)器人、光纖光學(xué)和光子學(xué)、視覺(jué)系統(tǒng)、機(jī)床、裝配、半導(dǎo)體設(shè)備、醫(yī)療部件激光加工、超精密微細(xì)加工、硅片檢查、電子制造業(yè)、航空電子設(shè)備等高性能應(yīng)用以及其他工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用。此外, Aerotech 制造的高性能驅(qū)動(dòng)器和控制器可與我們的直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)完美匹配,為您提供完美的運(yùn)動(dòng)控制解決方案。 分辨率可達(dá) 0.027-5.5 arc-sec 雙向重復(fù)性小于 1 arc-sec 定位精度可達(dá) ±2 arc-sec 更多技術(shù)內(nèi)容及應(yīng)用請(qǐng)聯(lián)系A(chǔ)erotech 銷(xiāo)售經(jīng)理 張巨鵬 18518556588 jupeng.zhang@goldkong.com ABRT-400空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái) | ABRT-400 Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ABRT-400精密氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái) ABRT-400 是 Aerotech 的 μARC 角度和旋轉(zhuǎn)裝置校準(zhǔn)系統(tǒng)的核心。ABRT-400 是一個(gè)大的具備納米級(jí)誤差運(yùn)動(dòng)性能的旋轉(zhuǎn)空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周?chē)幕◢弾r結(jié)構(gòu)的CTE建造的。空氣軸承配備有不影響旋轉(zhuǎn)的接頭和滑環(huán)以通過(guò)真空或空氣,并且實(shí)現(xiàn)電氣連接到被測(cè)裝置。 ABRT-400 可以用作高精度測(cè)量設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)角度標(biāo)定,X射線衍射,蛋白質(zhì)晶體或高精度加工應(yīng)用。 Rotary Stage | ABRT-400精密氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái) ABRT-400 是 Aerotech 的 μARC 角度和旋轉(zhuǎn)裝置校準(zhǔn)系統(tǒng)的核心。ABRT-400 是一個(gè)大的具備納米級(jí)誤差運(yùn)動(dòng)性能的旋轉(zhuǎn)空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周?chē)幕◢弾r結(jié)構(gòu)的CTE建造的。空氣軸承配備有不影響旋轉(zhuǎn)的接頭和滑環(huán)以通過(guò)真空或空氣,并且實(shí)現(xiàn)電氣連接到被測(cè)裝置。 ABRT-400 可以用作高精度測(cè)量設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)角度標(biāo)定,X射線衍射,蛋白質(zhì)晶體或高精度加工應(yīng)用。 特點(diǎn)規(guī)格 ● 精度: < 0.6微弧度( < 0.12弧秒) ● 最小增量步距: 0.035微弧度( 0.007弧秒) ● 重復(fù)性: < 0.4微弧度( < 0.08弧秒) ● 軸向運(yùn)動(dòng)誤差: < 50納米同步; < 10納米異步 ● 徑向運(yùn)動(dòng)誤差: < 75納米同步; < 10納米異步 空氣軸承旋轉(zhuǎn)主軸 ABRT-400是Aerotech的 μARC 角度和旋轉(zhuǎn)裝置校準(zhǔn)系統(tǒng)的核心。ABRT-400是一個(gè)大的具備納米級(jí)誤差運(yùn)動(dòng)性能的旋轉(zhuǎn)空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周?chē)幕◢弾r結(jié)構(gòu)的CTE建造的。空氣軸承配備有不影響旋轉(zhuǎn)的接頭和滑環(huán)以通過(guò)真空或空氣,并且實(shí)現(xiàn)電氣連接到被測(cè)裝置。 ABRT-400可以用作高精度測(cè)量設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)角度標(biāo)定,X射線衍射,蛋白質(zhì)結(jié)晶或高精度加工應(yīng)用。 更多技術(shù)內(nèi)容及應(yīng)用請(qǐng)聯(lián)系A(chǔ)erotech 銷(xiāo)售經(jīng)理張巨鵬 18518556588 jupeng.zhang@goldkong.com ABRS系列空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái) | ABRS Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ABRS系列精密氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái) Aerotech 的 ABRS 系列旋轉(zhuǎn)空氣軸承平臺(tái)提供卓越的角度定位,速度穩(wěn)定性和低運(yùn)動(dòng)誤差性能在一個(gè)非常低矮的封裝結(jié)構(gòu)中。ABRS旨在滿(mǎn)足晶片檢查,高精度計(jì)量,X射線衍射系統(tǒng),光學(xué)檢查和制造,以及微機(jī)電系統(tǒng)/納米器件的制造等應(yīng)用的嚴(yán)苛要求。 Aerotech ABRS系列空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)提供出色的角度定位,速度穩(wěn)定性和無(wú)誤差運(yùn)動(dòng)性能,并且擁有非常低矮的外形。 ● 直驅(qū)無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī) ● 非機(jī)械接觸 ● 零齒槽效應(yīng)電機(jī)帶來(lái)顯著的速度穩(wěn)定性 ● 顯著的無(wú)誤差無(wú)抖動(dòng)運(yùn)動(dòng)特性 ● 直接耦合的高精度編碼器 ● 扁平設(shè)計(jì)的低矮外形 ● 直徑:128.1-278.1 mm ● 分辨率: 0.036-0.18 arc-sec ● 雙向重復(fù)性:< 1 arc-sec ● 定位精度:±2 arc-sec 更多技術(shù)內(nèi)容及應(yīng)用請(qǐng)聯(lián)系A(chǔ)erotech 銷(xiāo)售經(jīng)理 張巨鵬 18518556588 jupeng.zhang@goldkong.com ARA1000空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái) | ARA1000 Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ARA1000精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) Aerotech 的 ARA1000 旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器代表了顯著的突破性應(yīng)用,如平板顯示器處理加工所要求的大型有效載荷的聯(lián)接方式。高負(fù)載慣量多軸系統(tǒng)可能遭受機(jī)械不穩(wěn)定,限制整機(jī)生產(chǎn)效率。ARA1000 通過(guò)專(zhuān)利設(shè)計(jì),顯著提高了平臺(tái)剛性,消除了這個(gè)問(wèn)題。ARA1000轉(zhuǎn)臺(tái)采用了標(biāo)準(zhǔn)的57.2毫米通孔,它可以很容易地穿過(guò)真空線路。臺(tái)面包括一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的安裝模式,其允許非常容易地進(jìn)行卡盤(pán)安裝。 Stage | ARA1000精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) Aerotech 的 ARA1000 旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器代表了顯著的突破性應(yīng)用,如平板顯示器處理加工所要求的大型有效載荷的聯(lián)接方式。高負(fù)載慣量多軸系統(tǒng)可能遭受機(jī)械不穩(wěn)定,限制整機(jī)生產(chǎn)效率。ARA1000 通過(guò)專(zhuān)利設(shè)計(jì),顯著提高了平臺(tái)剛性,消除了這個(gè)問(wèn)題。ARA1000轉(zhuǎn)臺(tái)采用了標(biāo)準(zhǔn)的57.2毫米通孔,它可以很容易地穿過(guò)真空線路。臺(tái)面包括一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的安裝模式,其允許非常容易地進(jìn)行卡盤(pán)安裝。 特點(diǎn)規(guī)格 ● 高承載能力 ● 高剛性 ● 直接驅(qū)動(dòng)無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī) ● 大孔徑 ● 與AVL1000升降平臺(tái)輕松配置多軸應(yīng)用 更多技術(shù)內(nèi)容及應(yīng)用請(qǐng)聯(lián)系A(chǔ)erotech 銷(xiāo)售經(jīng)理 張巨鵬 18518556588 jupeng.zhang@goldkong.com ABRS旋轉(zhuǎn)氣浮平臺(tái) 1專(zhuān)為高精密檢測(cè),光學(xué)檢測(cè)及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì) 2無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng) 3突出的速度穩(wěn)定性(電機(jī)無(wú)接頭效應(yīng)) 4卓越的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng) 5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器 6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 7無(wú)機(jī)械接觸 臺(tái)面直徑128.1-278.1mm 分辨率0.18-0.036arcsec 雙向重復(fù)定位精度<1arcsec 更多技術(shù)內(nèi)容及應(yīng)用請(qǐng)聯(lián)系A(chǔ)erotech 銷(xiāo)售經(jīng)理 張巨鵬 18518556588 jupeng.zhang@goldkong.com ABRT旋轉(zhuǎn)氣浮平臺(tái) 1專(zhuān)為高精密檢測(cè),光學(xué)檢測(cè)及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì) 2無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),高扭拒輸出 3突出的速度穩(wěn)定性(電機(jī)無(wú)接頭效應(yīng)) 4卓越的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng) 5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器 6超大的空心軸徑,無(wú)機(jī)械接觸 臺(tái)面直徑100-200mm 分辨率0.055-0.027arcsec 雙向重復(fù)定位精度<1arcsec 更多技術(shù)內(nèi)容及應(yīng)用請(qǐng)聯(lián)系A(chǔ)erotech 銷(xiāo)售經(jīng)理 張巨鵬 18518556588 jupeng.zhang@goldkong.com |
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