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光譜共焦位移傳感器的功能介紹

全新技術(shù)，區(qū)別于傳統(tǒng)三角測距法

由東莞藍海精密提供的ERT白光同軸共焦光譜檢測技術(shù)讓我們進入納米級的測量領(lǐng)域

產(chǎn)品的獨特性能

1. 產(chǎn)品原理：全新的光譜共焦原理，可測量距離和厚度；

2. 任何材質(zhì)和表面：包括鏡面、玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體、高光金屬等表面均可進行納米級測量；

3. 超高精度測量：最小線性度可達0.03μm，最高分辨率為0.3 nm；

4. 從100μm-42 mm的可選量程；

5. 超高采樣頻率：2K-60KHz，用于生產(chǎn)線，替代人工并提高合格率；

6. 測量范圍極廣，幾乎無死角，解決激光三角法測量無法回避的因表面材質(zhì)變化或傾斜而導(dǎo)致測量誤差 等問題，最大可測傾角87度；

7. 可進行透明工件（LCD、LCM、手機攝像頭等）多層厚度的精確測量，最小可測量厚度為400 nm；

8. 可用于實驗室的2D輪廓測量、3D微觀形貌分析、表面粗糙度測量，到工業(yè)在線檢測、自動化控制等。

光譜共焦位移傳感器原理簡介

1. 一束白光穿過小孔S，照射在色散鏡頭組L上。色散鏡頭組把白光分解成不同波長的單色光，每一個波長對應(yīng)一個固定的距離值。

2. 當對象出現(xiàn)在測量區(qū)域的時候，一個特定波長的單色光正好照射在其表面，并且反射進光學(xué)系統(tǒng)。

3. 此反射光通過一個小孔S,,（只有完美聚焦在被測體表面的光才可以穿過這個小孔），由波長識別系統(tǒng)(光譜儀)識別其波長，從而得到其所代表的精確距離值。

4.由光源射出一束寬光譜的復(fù)色光（呈白色），通過色散鏡頭發(fā)生光譜色散，形成不同波長的單色光。每一個波長的焦點都對應(yīng)一個距離值。測量光射到物體表面被反射回來，只有滿足共焦條件的單色光，可以通過小孔被光譜儀感測到。通過計算被感測到的焦點的波長，換算獲得距離值.

主要應(yīng)用領(lǐng)域：

粗糙度測量

得益于納米級精度及超好的角度特性，本同軸共焦位移傳感器契合ISO25178，可用于對表面粗糙度進行高精度測量。相對于傳統(tǒng)的接觸式粗糙度儀，同軸共焦位移計以更高的速度采集粗糙度輪廓，并且對產(chǎn)品表面無任何損傷。

輪廓和3D形貌測量

集成于3D掃描系統(tǒng)上，本同軸共焦位移傳感器可以提供針對負載表面形貌的2D和3D測量數(shù)據(jù)。

透明體厚度測量

創(chuàng)新的同軸共焦原理使本傳感器可以直接透過透明件工件的前后表面測量厚度，整個過程僅需要使用一個傳感器從工件的一個側(cè)面測量。相對于三角反射原理的激光位移傳感器，本儀器因采用同軸光，從而可以更有效地測量弧工件的厚度。

液位控制測量

優(yōu)異的非接觸式同軸測量，我們傳感器可以檢測和測量液體的水平高度

在線檢測

高采樣頻率，小尺寸體積和卡放的數(shù)據(jù)接口，使本儀器非常容易集成至在線生產(chǎn)和檢測設(shè)備中，實現(xiàn)線上檢測。

震動測量

由于采用超高的采樣頻率和超高精度,同軸傳感器可以對震動物件進行測量,傳感器采用的非接觸設(shè)計，避免測量過程中對震動物件造成干擾，同時可以對復(fù)雜區(qū)域進行詳細的測量和分析。