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XYCOM 3410-301312001100P 系統(tǒng)卡件 運(yùn)城
XYCOM 3410-301312001100P 系統(tǒng)卡件 運(yùn)城 價格:1800  元(人民幣) 產(chǎn)地:美國
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廈門興銳嘉進(jìn)出口有限公司  
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美國應(yīng)用材料()發(fā)布了可形成適用于22nm~14nm邏輯IC的低介電率(low-k)層間絕緣膜的兩款制造裝置。分別是“Producer Black Diamond 3”和紫外線(UV)“Producer Nanocure 3”。

由發(fā)布可知,因微處理器耗電量的1/3為布線耗電量所占,因此市場上要求能夠在降低布線耗電量的同時,確保高機(jī)械強(qiáng)度的層間絕緣膜。對此,應(yīng)用材料開發(fā)出了第3代low-k膜,并投產(chǎn)了可制造這種low-k膜的裝置。第3代low-k膜是帶有納米級空孔的多孔質(zhì)(Porous)膜,相對介電常數(shù)(k)僅為2.2。并提高了空孔率的均勻性等,使機(jī)械強(qiáng)度比原來最大改善至2倍,可以耐受成膜后晶圓處理工序和封裝組裝工序的應(yīng)力。據(jù)介紹,為提高均勻性,應(yīng)用材料改進(jìn)了UV的光學(xué)系統(tǒng)及反應(yīng)室(Chamber)的設(shè)計,固化均勻性與原來相比最大提高了50%。并且,通過組合使用高輸出功率的UV光源和低壓固化工藝,將固化處理的速度提高了40%。


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XYCOM XYCOM XVME-675 RQANS1
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XYCOM PROFACE GPH70-SC41-24VP (REV H) RQAUS1
XYCOM PROFACE GPH70-SC41-24VP RQAUS1
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ASML PAS 2500 5000 STEPPER FLYS EYE 4022.435.0558.2 116534-8207/077


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ASML PAS 2500 5000 STEPPER Y SLATOR
KLA TENCOR 8100 6400 WIEN FILTER CONTROLLER CHASSIS
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Nikon Scanner S202A Nikon 4S018-416-1 RCDRVX2 PCB
NIKON INTERFEROMETER 4S018-167 ALGLIUIF2 PCB
APPLIED MATERIALS AMAT GLASSMAN HIGH VOLTAGE DECEL PSC 0240-96561

0090-91434
TEL TOKYO ELECTRON GATE VAT VALVE VD012-013275-1 48132-CE24-AKG1


Nikon Scanner S202A Nikon 4S018-608-WL3I06 PCB
Nikon Scanner S202A Nikon 4S017-983-VME-I/F-M PCB
AMAT 0020-30708 Ring, Clamp, Vespel, REM FGR, AL 150MM, Flat
AMAT 0020-34438 CHASSIS, BULKHEAD, DPS
AMAT 0190-00462 Mass Storage, Module, SBC
AMAT 0200-40218 DOME, TAPERED STYLE, FIRE POLISHED
AMAT 0500-00190 HELIX IS CONTROLLER 19" PANEL
MKS INSTRUMENTS 117426-G1 FINAL ASSY, IDA SYSTEM
ROTATION POWER 2130-C2 ILLUMINATION CONTROLLER, DUV, 208VAC, 1000W, 60

HZ
LAM 716-331157-013 DISK, INTERFEROMTER, TOP GAS
AMAT 9090-01193 ASSY GAS PANEL CTRL (NO OVENS)
GASONICS A95-062-01 ARM II,ASSY,W/PCA,A94-062-01:MOTOROLA
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Laser with SER
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TEL TF234477-001 Assy, Power, Supply, Heater/Chiller
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AMAT 0200-09847 Ring, Clamp, Flat, AL 100MM, .95HT Finger
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