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XYCOM 4850A 系統(tǒng)卡件 運(yùn)城
XYCOM 4850A 系統(tǒng)卡件 運(yùn)城 價(jià)格:1800  元(人民幣) 產(chǎn)地:美國(guó)
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廈門(mén)興銳嘉進(jìn)出口有限公司  
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美國(guó)應(yīng)用材料()發(fā)布了可形成適用于22nm~14nm邏輯IC的低介電率(low-k)層間絕緣膜的兩款制造裝置。分別是“Producer Black Diamond 3”和紫外線(UV)“Producer Nanocure 3”。

由發(fā)布可知,因微處理器耗電量的1/3為布線耗電量所占,因此市場(chǎng)上要求能夠在降低布線耗電量的同時(shí),確保高機(jī)械強(qiáng)度的層間絕緣膜。對(duì)此,應(yīng)用材料開(kāi)發(fā)出了第3代low-k膜,并投產(chǎn)了可制造這種low-k膜的裝置。第3代low-k膜是帶有納米級(jí)空孔的多孔質(zhì)(Porous)膜,相對(duì)介電常數(shù)(k)僅為2.2。并提高了空孔率的均勻性等,使機(jī)械強(qiáng)度比原來(lái)最大改善至2倍,可以耐受成膜后晶圓處理工序和封裝組裝工序的應(yīng)力。據(jù)介紹,為提高均勻性,應(yīng)用材料改進(jìn)了UV的光學(xué)系統(tǒng)及反應(yīng)室(Chamber)的設(shè)計(jì),固化均勻性與原來(lái)相比最大提高了50%。并且,通過(guò)組合使用高輸出功率的UV光源和低壓固化工藝,將固化處理的速度提高了40%。


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0090-91434
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