| 精微影像儀MicroLine 300 |
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價(jià)格：100000 元(人民幣) | 產(chǎn)地：美國(guó) |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：蘇州 | |
| 上架時(shí)間：2018-01-23 15:06:48 | 瀏覽量：179 | |
東莞市天測(cè)光學(xué)設(shè)備有限公司蘇州分公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式：代理商 | 公司類(lèi)型：私營(yíng)有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：光學(xué)儀器 | 主要客戶：蘋(píng)果，偉創(chuàng)力，富士康 | |
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| 聯(lián)系人:張人雷 (先生) | 手機(jī):13603074946 |
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關(guān)鍵尺寸的自動(dòng)化光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)
MicroLineTM 300影像測(cè)量?jī)x是一款高性能測(cè)量晶圓、光罩、MEMS和其他微加工設(shè)備等關(guān)鍵尺寸的自動(dòng)化測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)配備了高質(zhì)量光學(xué)顯微鏡和精密移動(dòng)平臺(tái)，可對(duì)200mm的晶圓上0.5?m到400?m的特征尺寸進(jìn)行全自動(dòng)的精密視場(chǎng)測(cè)量。
n 200 x 200mm精密X-Y平臺(tái) n 基于視覺(jué)的自動(dòng)聚焦獲得最佳影像質(zhì)量 n 自動(dòng)照明可編程光強(qiáng) n 用于測(cè)量透明層、不規(guī)則邊緣的線、厚膜等的強(qiáng)勁性能 n 完全可編程的序列，包括自動(dòng)聚焦和關(guān)鍵尺寸測(cè)量 n 電動(dòng)的6目物鏡轉(zhuǎn)換器，軟件控制 n 可選的透射照明
技術(shù)規(guī)格： - 測(cè)量行程: 200 x 200 x 25mm (XYZ) - 平臺(tái)運(yùn)行: 交叉滾軸手動(dòng)同軸定位和快速釋放 - 視場(chǎng)內(nèi)的測(cè)量精度: 0.010?m (用100x物鏡) - 特征尺寸: 視場(chǎng)內(nèi)0.5?m - 400?m - FOV測(cè)量重復(fù)性: <0.010?m on wafers (用100x物鏡) <0.005?m on photomasks (用100x物鏡) - 照明: 石英鹵素?zé)?/span>, 反射光 自動(dòng)照明 - 低噪音CCD VGA格式攝像頭 - 圖像處理60幀每秒
MicroLine 300的典型應(yīng)用包括： l 晶圓 l 光罩 l MEMS l 微型組件
測(cè)量類(lèi)型: n 關(guān)鍵尺寸: 線寬 Linewidth 節(jié)距 Pitch 間隙 Spacing
n Overlay Multi-layer registration Box in box Circle Edge roughness Butting error |
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