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1. 產(chǎn)品概述

本產(chǎn)品是一款基于新型層流元件設(shè)計的層流質(zhì)量流量計，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流差壓技術(shù)，現(xiàn)代化的制造工藝，具有精度高、量程比寬、響應(yīng)速度快和可靠性高等優(yōu)點，并且可以精確地測量極小流量。該流量計可測量工質(zhì)有液體、氣體和蒸汽，并且無前后直管段要求，便于現(xiàn)場安裝，在工業(yè)測量領(lǐng)域可以廣泛應(yīng)用。

本公司設(shè)計研發(fā)的新型層流元件，采用內(nèi)部補(bǔ)償型的層流壓差技術(shù)，使得流量計精度更高，重復(fù)性更好，并可以精確地測量極小流量，再配套先進(jìn)的信號處理技術(shù)，使響應(yīng)速度更快，可以滿足不同需求的流量測量場合。無論是液體、氣體還是蒸汽，本公司的層流質(zhì)量流量計都可以保證同樣優(yōu)良的測量性能。同時采用現(xiàn)代化的加工制造工藝，讓產(chǎn)品的可靠性更加顯著，可以適應(yīng)不同的工作環(huán)境，應(yīng)用范圍更廣。較其他類型的質(zhì)量流量計，本公司的層流質(zhì)量流量計沒有前后直管段要求，可大大減少現(xiàn)場安裝空間，便于現(xiàn)場安裝。

2. 工作原理

層流質(zhì)量流量計基于Hagen-Poiesuille’s Law（哈根-泊肅葉定律）設(shè)計的，該定律描述了在溫度、管徑等參數(shù)一定的情況下，圓管內(nèi)的不可壓縮牛頓流體是層流運動狀態(tài)時，體積流量與壓降線性相關(guān)。當(dāng)流體流量發(fā)生變化時，層流元件兩端的壓差會相應(yīng)改變，因此，通過壓差傳感器讀取流體流過層流元件時的壓差，可計算出體積流量，再對該體積流量進(jìn)行壓力和溫度修正，從而獲得標(biāo)準(zhǔn)體積流量和質(zhì)量流量。

3. 產(chǎn)品特點

高重復(fù)性：重復(fù)性高達(dá)0.1%

高精度：氣體測量精度1%

高可靠性：流量計內(nèi)部無運動部件，可靠性高；

響應(yīng)速度快：達(dá)到0.001s

多參數(shù)在線顯示：可同時顯示瞬時流量、累積流量、溫度、壓力、時間等參數(shù)；

多種信號輸出方式：可根據(jù)客戶需求選擇（4～20）mA和RS485輸出

    復(fù)雜環(huán)境適應(yīng)性：可提供高達(dá)IP67防護(hù)等級的流量計

測量介質(zhì)廣泛：可測量各種潔凈氣體（如空氣、氦氣、氮氣、氬氣、二氧化碳等）和液體

安裝時無直管段要求，節(jié)省安裝空間

內(nèi)置壓力和溫度模塊，不受環(huán)境壓力和溫度變化的影響；

4. 應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體行業(yè)中單晶爐多晶爐的氣相沉積生產(chǎn)工藝

環(huán)保領(lǐng)域的采樣流量檢測與校準(zhǔn)

表面處理中的真空鍍膜

熱處理過程中保護(hù)氣體的控制

用于生物制藥的生物反應(yīng)器

冶金行業(yè)的吹氬攪拌和保護(hù)

輕工業(yè)、食品、紡織等行業(yè)中的工藝過程計量與控制。

醫(yī)藥、化工等行業(yè)的精確配料和反應(yīng)過程的控制。

航空航天、汽車制造等行業(yè)動力裝置系統(tǒng)的工作性能監(jiān)控與質(zhì)量安全控制、出廠檢驗等。

材料熱處理工藝的保護(hù)氣體流量與溫壓控制。

另外，也可應(yīng)用于科學(xué)研究、泄漏測試、環(huán)境監(jiān)測、半導(dǎo)體、光纖制造等行業(yè)。

5.系列選型

（1）九大系列：

G100—ST氣體標(biāo)準(zhǔn)流量系列

G100—MR氣體小流量系列

G100—QC氣體快速響應(yīng)系列

G100—RA氣體極快速相應(yīng)系列

G100—GD氣體高防護(hù)等級系列；

L150—ST液體標(biāo)準(zhǔn)流量系列

L150—MR液體小流量系列

L150—QC液體快速響應(yīng)系列

L150—GD液體高防護(hù)等級系列

5.1氣體流量系列

氣體層流質(zhì)量流量計流量范圍為25SCCM～1000SLPM，具體流量分為（最大流量，單位為SLPM）0.5、1、2、5、10、20、50、100、150、250、500、1000，流量計量程比為20:1，精度等級為1.0。

注意：

SLPM：標(biāo)準(zhǔn)公升每分鐘流量值

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)定義：溫度—20℃

          絕對壓力—101.325KPa

G100—ST氣體標(biāo)準(zhǔn)流量系列

氣體標(biāo)準(zhǔn)流量系列層流質(zhì)量流量計可準(zhǔn)確測流氣體的體積流量、質(zhì)量流量、壓力和溫度。

標(biāo)準(zhǔn)流量系列層流質(zhì)量流量計選用新型層流傳感器，采用層流壓差技術(shù)，使得氣體流動過程中保持層流運動，流量計內(nèi)裝有壓力傳感器和溫度傳感器，充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的氣體體積流量的變化，并將該體積流量轉(zhuǎn)化為標(biāo)況體積流量。

流量計帶有集成式多功能數(shù)字顯示屏，具有多參數(shù)在線顯示功能，可同時顯示瞬時流量、累積流量、溫度、壓力、時間等參數(shù)。

流量計內(nèi)部無可移動部件和發(fā)熱元器件，無需啟動預(yù)熱時間，無需前后直管段，測量精度高，重復(fù)性高，響應(yīng)速度可達(dá)0.1s，并兼容模擬信號和數(shù)字信號的輸出。