| 半自動(dòng)旋涂顯影刻蝕機(jī) |
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價(jià)格：\u9762\u8bae 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1 | 發(fā)貨地：本地至全國 | |
| 上架時(shí)間：2025-04-28 02:25:25 | 瀏覽量：14 | |
武漢邁可諾科技有限公司
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| 經(jīng)營模式：代理商 | 公司類型：私營有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：實(shí)驗(yàn)室設(shè)備/實(shí)驗(yàn)室儀器 | 主要客戶：高校實(shí)驗(yàn)室科研單位 | |
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LCS專為晶圓和平面基片的半自動(dòng)旋涂和開發(fā)而設(shè)計(jì)，將是試點(diǎn)項(xiàng)目、研究所和研發(fā)的最佳選擇。 它保證了高均勻性和可重復(fù)性以及簡單的操作和維護(hù)。 它可以處理最大 150 毫米的晶圓或最大 125x125 毫米的方形基片。 為了與試劑等化學(xué)品相兼容，腔體材質(zhì)是由 POM、陽極氧化鋁、聚丙烯、不銹鋼或 PTFE 制成。 旋涂工藝程序通過觸摸屏進(jìn)行設(shè)置。 用戶可以編寫多達(dá) 20 個(gè)步驟的 50 個(gè)程序段。每一步可設(shè)置不同的速度、加速度和時(shí)間參數(shù)。 ? 選配項(xiàng)： ·背面沖洗 (BSR) ·晶圓去邊?(EBR) ·氣動(dòng)注射器分配系統(tǒng) ·電動(dòng)注射器分配系統(tǒng) ·帶數(shù)字儀表和壓力控制的加壓瓶分配系統(tǒng) ·各種真空或機(jī)械托盤 ·晶圓對(duì)準(zhǔn)工具 ·腔體材質(zhì)由陽極氧化鋁、聚丙烯或 PTFE 制成 ? 特征： ·擁有觸摸屏界面 ·多達(dá) 5 條試劑管路 ·具有可編程分配高度的電動(dòng)臂 ·占地面積小 600x625 毫米 ·自動(dòng)透明蓋 ·多種尺寸旋涂托盤 ·托盤更換快速簡便 ·處理腔室易清洗 ? 技術(shù)參數(shù)：
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