產(chǎn)品參數(shù) | 激光干涉儀 PV/POWER/TTV值GBM08A 手機(jī)攝像頭干涉條紋測(cè)試儀 品牌 | 速德瑞 | 是否支持加工定制 | 否 | 是否進(jìn)口 | 否 | 測(cè)量原理 | 菲索干涉原理 | 激光器 | 半導(dǎo)體激光器 635nm 940nm | 有效孔徑 | 30mm (允許同時(shí)管控8個(gè)孔) | 標(biāo)準(zhǔn)鏡面形精度 | 0.05λ | 面形值重復(fù)精度 | PV 0.06λ(標(biāo)準(zhǔn)片) | 面形值量程 | PV 0~3λ | 可售賣地 | 全國(guó) | 型號(hào) | GBM08A | | .jpg)
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光干涉透射法檢測(cè)元件厚度差的原理: 在激光干涉儀進(jìn)行透射測(cè)量時(shí),激光光源發(fā)出的單色光,垂直向下經(jīng)過被檢元件上、下兩表面被標(biāo)準(zhǔn)反射鏡反射后會(huì)形成干涉條紋,每個(gè)點(diǎn)上所生的干涉條紋取決于該點(diǎn)上兩相干的光的光程差。當(dāng)光程差為nλ 0.5λ時(shí),顯示為暗條紋;當(dāng)光程差為nλ λ時(shí),顯示為亮條紋;
所以,當(dāng)被檢元件的兩個(gè)面不完全平行,存在楔角時(shí),沿楔角方向,元件的厚度逐漸增大,相應(yīng)的光程差也逐漸變大,沿楔角方向就會(huì)產(chǎn)生間隔分布亮暗條紋。楔角越大,條紋越密集。
檢測(cè)指標(biāo)的簡(jiǎn)單說(shuō)明: PV值在數(shù)學(xué)上的定義是峰谷值( Peak to Valley),即最大值和最小值的差值。單位是λ(波長(zhǎng))。對(duì)應(yīng)到干涉儀透射檢測(cè)上,就是被檢元件的厚度差。
RMS值在數(shù)學(xué)上的定義是均方根值(root-mean-square),單位是λ(波長(zhǎng)),這是一個(gè)統(tǒng)計(jì)值,RMS的大小反映了這些數(shù)據(jù)值的離散程度。對(duì)應(yīng)到干涉儀透射檢測(cè)上,RMS值越小表明被檢元件的厚度平滑性越好,高低起伏越少。
條紋根數(shù)是肉眼可見的被檢元件厚度差的直觀表現(xiàn),與PV值成線性關(guān)系。條紋根數(shù)越少表明被檢元件的厚度差越小。
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