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快速退火爐(RTP,Rapid Thermal Processing)系列產(chǎn)品,采用紅外輻射加熱及冷壁技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對實(shí)驗(yàn)材料的快速升溫和降溫，同時搭配超高精度的溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到極佳的溫場均勻性，對材料的快速熱處理、快速退火、快速熱氧化、快速熱氮化及金屬合金化等研究和生產(chǎn)工作起到重要作用。
快速退火爐系列產(chǎn)品主要分為RTP-3-01、RTP-3-04、RTP-3-06、RTP-3-08、RTP-3-12等,分別能處理 1-12 寸樣本。

應(yīng)用功能
快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)
-離子注入/接觸退火
-SiAu、SiAl、SiMo合金化
-太陽能電池片鍵合
-電阻燒結(jié)
-低介電材料熱處理
-晶體化、致密化
-材料制備
提供可控壓力環(huán)境并實(shí)現(xiàn)以上應(yīng)用提供真空、氧氣、氧氣、混合氣體等氣氛環(huán)境

支持多種配置選擇，如可選擇 SECS/GEM、1-4路氣氛、自動開關(guān)門、燈光分區(qū)控制、PID 自動配置等;,可實(shí)現(xiàn)爐壁溫度監(jiān)視、水冷異常監(jiān)視、真空度監(jiān)視、腔體壓力監(jiān)視等;
豐富的附件選擇:碳化硅石墨托盤、石英樣品托架、紅外加熱燈管、石英腔體 /板、TC-Wafer 校準(zhǔn)儀等