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長(zhǎng)度測(cè)量頭383965-02德國海德汗Heidenhain貴州

海德漢公司用特別開發(fā)的光刻工藝制造 光柵。
? AURODUR：在鍍金鋼帶上蝕刻線條，典型柵距40 μm
? METALLUR：抗污染的鍍金層金屬線，典型柵距20 μm
? DIADUR：玻璃基體的超硬鉻線（典型柵距20 μm）或玻璃基體的三維鉻線格柵（典型柵距8 μm） ? SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵線條，抗污能力，典型柵距不超過8 μm
? OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵線條， 反光性能，典型柵距不超過2 μm
這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外，而且它刻制的光柵線條邊緣清晰、均勻。再加上光電掃描法，這些邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號(hào)的關(guān)鍵。母版光柵采用海德漢公司定制的 刻線機(jī)制造。

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汪凱文 →手/微: 152@1681@9954 ( 同V-X )

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長(zhǎng)度測(cè)量頭383965-02德國海德汗Heidenhain貴州

增量測(cè)量法的光柵由周期性刻線組成。位置信息通過計(jì)算自某點(diǎn)開始的增量數(shù)（測(cè)量步距數(shù)）獲得。由于必須用參考點(diǎn)確置值，因此光柵尺上還刻有一個(gè)參考點(diǎn)軌。參考點(diǎn)確定的光柵尺位置值可以到一個(gè)信號(hào)周期。因此，必須通過掃描參考點(diǎn)建立基準(zhǔn)點(diǎn)或確定上次選擇的原點(diǎn)。測(cè)量法是指編碼器通電時(shí)就可立即得到位置值并隨時(shí)供后續(xù)信號(hào)處理電子電路讀取。無需移動(dòng)軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作。
位置信息來自光柵碼盤，它由一系列碼組成。單獨(dú)的增量刻軌信號(hào)用于細(xì)分處理后得到位置值，同時(shí)也能生成供 的增量信號(hào)（與接口類型有關(guān)）。

長(zhǎng)度測(cè)量頭383965-02德國海德汗Heidenhain貴州

大多數(shù)海德漢公司光柵尺或編碼器都用光電掃描原理。對(duì)測(cè)量基準(zhǔn)的光電掃描為非接觸掃描，因此無磨損。這種光電掃描方法能檢測(cè)到非常細(xì)的線條，通常不超過幾微米寬，而且能生成信號(hào)周期很小的輸出信號(hào)。
測(cè)量基準(zhǔn)的柵距越小，光電掃描的衍射現(xiàn)象越嚴(yán)重。海德漢公司的直線光柵尺采用兩種掃描原理：
? 成像掃描原理用于20 μm至大約40 μm的柵距
? 干涉掃描原理用于更小柵距的光柵，例如8 μm

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