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紫外光刻機
型號：URE-2000/17
簡單介紹：光刻機：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光機, 該型號光刻機創(chuàng)新采用采用雙目雙視場顯微鏡對準；球碗調(diào)平,單片機控制,觸摸開關(guān),操作方便、實用性強。整機具有性能可靠、操作方便等特點。

一．技術(shù)特征

1、采用國內(nèi)獨創(chuàng)的多點梯形反射鏡聚光和實現(xiàn)均勻照明，具有高的能量收集率和高均勻性照明性；

2、采用進口直流高壓汞燈，光功率穩(wěn)定；

3、采用i線（365nm)紫外曝光光源，波長單一，光譜純凈；

4、高倍率雙目雙視場CCD顯微鏡和19英寸寬屏液晶，可同時觀察對準過程，適用大視場高倍率對準；

5、采用薄膜開關(guān)操作，數(shù)字設(shè)定曝光時間，倒計時數(shù)顯，曝光量可精確控制；

6、配置無油真空泵，無污染，噪音�。�

7、關(guān)鍵器件采用高質(zhì)量性能產(chǎn)品，整機技術(shù)保障、可靠性高。