RTP快速退火爐可實(shí)現(xiàn)對(duì)實(shí)驗(yàn)材料的快速升溫和降溫 |
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快速退火爐(RTP,Rapid Thermal Processing)系列產(chǎn)品,采用紅外輻射加熱及冷壁技術(shù),可實(shí)現(xiàn)對(duì)實(shí)驗(yàn)材料的快速升溫和降溫,同時(shí)搭配超高精度的溫度控制系統(tǒng),可達(dá)到極佳的溫場(chǎng)均勻性,對(duì)材料的快速熱處理、快速退火、快速熱氧化、快速熱氮化及金屬合金化等研究和生產(chǎn)工作起到重要作用。 應(yīng)用功能 支持多種配置選擇,如可選擇 SECS/GEM、1-4路氣氛、自動(dòng)開(kāi)關(guān)門(mén)、燈光分區(qū)控制、PID 自動(dòng)配置等;,可實(shí)現(xiàn)爐壁溫度監(jiān)視、水冷異常監(jiān)視、真空度監(jiān)視、腔體壓力監(jiān)視等; |
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