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WD4000晶圓檢測(cè)系統(tǒng)晶圓級(jí)翹曲度粗糙度幾何形貌測(cè)量機(jī)
WD4000晶圓檢測(cè)系統(tǒng)晶圓級(jí)翹曲度粗糙度幾何形貌測(cè)量機(jī) 價(jià)格:3000000.00  元(人民幣) 產(chǎn)地:廣東深圳
最少起訂量:1 發(fā)貨地:廣東深圳
上架時(shí)間:2024-07-27 04:09:07 瀏覽量:12
中圖儀器股份有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)加工 公司類型:股份有限公司
所屬行業(yè):檢測(cè)儀器 主要客戶:計(jì)量院
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:何漢英 (先生) 手機(jī):18928463988
電話: 傳真:
郵箱:sales@chotest.com 地址:深圳市南山區(qū)西麗學(xué)苑大道1001號(hào)南山智園B1棟2樓

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)
是否支持加工定制
是否進(jìn)口
操作方式全自動(dòng)
型號(hào)WD4100
測(cè)量系統(tǒng)厚度和翹曲度測(cè)量系統(tǒng)
測(cè)量傳感器高精度光譜位移傳感器
測(cè)量范圍100μm~2000μm
測(cè)量精度0.25μm
重復(fù)性0.2μm
探頭分辨率25nm
測(cè)量參數(shù)THK ;TTV ;LTV;BOW;WARP;SORI;TIR;等
晶圓尺寸4" 、6" 、8" 、 12"
晶圓載臺(tái)防靜電鏤空真空吸盤(pán)載臺(tái)
外形尺寸1500×1500×2000mm
總重量1500kg
品牌中圖儀器 CHOTEST









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