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簡介
GNAD系列是先進一代的精密研磨和拋光機，為材料加工應用提供了顯著的改進和優(yōu)勢，包括Si，SiC，GaN，InP，GaAs，CZT和MCT等。
所有功能均可由獨立的可拆卸控制系統(tǒng)控制。根據(jù)工藝的具體要求，可拆卸控制系統(tǒng)可以選擇WIFI/藍牙或有線模式來控制機器。

● 獨立的遠程控制系統(tǒng)
● 通過一個控制系統(tǒng)進行多機控制 ● 自動溫度和冷卻控制
● 多進料系統(tǒng)
● 自動清潔控制系統(tǒng) SH 系列精密拋光夾具用于在 GNAD 機器上研磨和/或拋光時保持形狀各異的樣品。

帶刻度盤的夾具可以指示庫存去除，精度數(shù)據(jù)為1微米。

夾具自動旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)可以驅(qū)動和控制夾具轉(zhuǎn)速從0-100rpm。掃描范圍控制在0-100，此功能可以減少拋光時間，提高去除率和最終的粗糙度和平坦度。
研磨/拋光板的基本操作由主驅(qū)動部分控制。從這里設(shè)置板速并顯示在LCD上。這在0到120 rpm之間是無限可變的，以確保適合所選過程的速度。
自動板材平整度控制系統(tǒng)持續(xù)監(jiān)控板材形狀，并自動糾正與操作員設(shè)置的所需形狀的任何偏差。
自動清潔控制系統(tǒng)將自動清潔板和可拆卸滴水盤，時間和進料將受到控制。主驅(qū)動器面板上的計時器可設(shè)置為運行機器長達 10 小時。操作員的持續(xù)監(jiān)督是不必要的。它將為操作員提供更多的自由度，因為在選定的時間或厚度之后，加工將自動停止。

技術(shù)參數(shù)

電源： 250V、10A / 110V、10A
晶圓產(chǎn)能： 6 英寸/152 毫米 x 1、6 英寸/152 毫米 x 2、6 英寸/152 毫米 x 3
板材直徑： 300毫米、350毫米、420毫米
板速度： 0-120轉(zhuǎn)/分
夾具轉(zhuǎn)速： 0-120轉(zhuǎn)/分
夾具掃描頻率： 0-30分鐘
工作時間： 0-10 小時
磨料輸送： 1/2/3/4/5/6 進紙通道