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SF6/N2 混氣回收分離裝置
完全有別于行業(yè)常用的膜分離回收技術(shù)，我公司自行開發(fā)的“膜組 低溫提純”技術(shù)。
低溫冷凍為主，膜分離為主。其優(yōu)點(diǎn)在于：
?操作方便簡單，對氣源通用性好，沒有對氣源流量、壓力、溫度、純度的要求。
?無論何種比例的SF6都能處理，0-100都行。
?純度保證，采用低溫固化法，回收分離后SF6純度≧99.99以上的。
??符合排放要求：尾氣模組吸附，吸附后排出SF6的濃度≦100ppm。
?設(shè)備全部采用成熟零部件，內(nèi)置的制冷機(jī)組，壓力容器和壓縮機(jī)等都屬于常用零部件的，模組采用國產(chǎn)的，其功能只是用來吸附氮?dú)鈱ν馀欧胖邪腟F6，即使故障也不影響正常使用，同時(shí)售后服務(wù)方便快捷！

設(shè)備參數(shù)
形式 無油活塞風(fēng)冷
理論排氣量 m3/h 30
最大排氣壓力 MPa 5
允許排氣壓力 MPa 4.5
SF6壓縮機(jī) 最小允許吸氣壓力 KPa 53
（國產(chǎn)無油） 最大允許吸氣壓力 MPa 0.5
最高排氣溫度 ℃ 130
功率 KW 11
電源 3Φ 380V 50Hz
抽氣速率 m3/h 50
負(fù)壓回收泵 極限真空 Pa ≤50
國產(chǎn) 潤滑油 無
功率 KW 3
電源 3Φ 380V 50Hz
數(shù)顯真空計(jì) 上海
閥門 美國tony
壓力傳感器 上海
低溫模組 上海
灌瓶裝置 天津 m3/h 3
真空泵 上海 m3/h 63
貯存容器 蘇州 M3 1（碳鋼）
分離容器 蘇州 M3 0.12（不銹鋼）
觸摸屏 國產(chǎn) 寸 18
遠(yuǎn)程控制系統(tǒng) 國產(chǎn) 內(nèi)置遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，可無線遠(yuǎn)程控制和監(jiān)管系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)手機(jī)，電腦等操控