TPR271真空計(jì)天鉉真空計(jì)性能穩(wěn)定型號齊全全新原裝 |
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我們的解決方案包括氣體和流量控制器、汽化、自動補(bǔ)液、氣體發(fā)生器、超純水監(jiān)測儀和化學(xué)濃度監(jiān)測儀。流體控制 HORIBA 擁有多種產(chǎn)品以您的流體測量和控制要求。 在各種制造和研究實(shí)驗(yàn)室中,我們提供氣體和的測量和可靠控制。HORIBA 是高性能流量計(jì)、流量控制器、自動壓力控制器和汽化的,用于整個(gè)半導(dǎo)體制造行業(yè)。 流量控制 D500 壓力控制 GR-200 液源汽化 壓力控制 HORIBA 提供多種壓力控制產(chǎn)品,用于監(jiān)測、調(diào)節(jié)或控制供氣管線中的壓力。 HORIBA 壓力控制產(chǎn)品包括數(shù)字高性能壓力傳感器和壓電閥。它們可以幫助由切換高流量管線引起的串?dāng)_影響。 HORIBA 晶圓冷卻使用氦氣來熱損傷,我們的排氣壓力控制器可保持腔室中的壓力水平一致。DZ-100 DZ-100 超薄流量控制器 超薄流量控制器 DZ-100 繼承了與 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION? 技術(shù)——一種用于層流粘性流量范圍的壓差檢測。這種創(chuàng)新技術(shù)可以高精度地控制各種氣體的流量。與 D500 一樣,用戶可配置的 DZ-100 支持多量程和多氣體應(yīng)用。MFC的緊湊設(shè)計(jì)了內(nèi)部氣體流路的內(nèi)部體積,的控制算法了響應(yīng)特性。它采用具有高處理能力的緊湊型 CPU,壓電驅(qū)動電路和控制 CPU 安裝在 MFC 模塊中,而電源組件則安裝在單獨(dú)的小型控制箱中。通過將它們與專用微型連接器連接,多可以控制四個(gè) MFC 模塊。 細(xì)分市場:半導(dǎo)體 部門:流體控制 制造公司:HORIBA STEC, Co Ltd. 緊湊的自加熱設(shè)計(jì) 創(chuàng)新電極結(jié)構(gòu)帶來的高性能和高性 鎳合金隔膜具有優(yōu)異的耐腐蝕性 設(shè)定點(diǎn)輸出(2點(diǎn)) 輸出 通過專用進(jìn)行量程 一鍵歸零 電源要求 /-15VDC 或 24VDC 符合 CE 和 RoHS ? |
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