產(chǎn)品參數(shù) | 品牌 | 瑞澤 | 是否支持加工定制 | 是 | 操作壓強 | 0.8MpaPa | 處理能力 | 0-2000Nm3/h | 工作壓力 | 0.2-1.6MPa可調(diào),也可定制15-20MPaMPa | 規(guī)格 | 1200*1200*1880mm | 過濾精度 | 0.01um | 提取氣體狀態(tài) | 氣態(tài) | 效果 | 純度≥99.9999 | 性能 | 優(yōu) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 氬氣純化設(shè)備用于高純氣體充裝站、焊接、不銹鋼制造、冶煉,還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣。 | 重量 | 600kg | 自動化程度 | 全自動 | 加工定制 | 是 | 處理氣量 | 5~2000 Nm3/h(可根據(jù)用戶需要訂做非標設(shè)備) | 原料氣要求 | 液氬或者較好的管道氬均可使用 | 凈化效能 | 99.9996 | 露點 (H2O) | ≤-80℃ | 氧含量 | ≤0.5ppm | 氫含量 | ≤0.1ppm | 氮含量 | ≤0.1ppm | 二氧化碳 | ≤0.1ppm | 烴類 | ≤0.1ppm | 可售賣地 | 全國 | 用途 | 氬氣提純 | 材質(zhì) | 316L | 型號 | RZ-YA-D | | .jpg)
.jpg)
.jpg)
.jpg)
.jpg)
.jpg)
氬氣凈化設(shè)備 設(shè)備特點: 1、凈化劑其特點有吸附深度好,吸收雜質(zhì)氣體量大的特點,純度可達99.9999以上; 2、凈化器采用特殊結(jié)構(gòu)和裝料方法,流速設(shè)計合理,氣流分布均勻; 3、全BA級內(nèi)外精拉管管路。采用進口卡套式球閥。杜絕了氣體流經(jīng)管路的再次污染。 4、雙式結(jié)構(gòu),開機后一組工作,另一組再生、備用,而且RZ-YA-C系列半自動純化裝置工作和再生都自動進行,故能夠連續(xù)供氣,一臺能頂單式的兩臺使用。 5、本公司生產(chǎn)的RZ-YA-D系列全自動氬氣純化裝置功能說明: A、具有全自動功能,使用操作簡單,開、停機只需按兩個按鈕,不需扭動任何閥門,這些工作都由PLC程序自動進行;這還克服了手動和半自動機型因人為操作失誤引起的氣體不純,因此純氣質(zhì)量也更加穩(wěn)定。 B、控制文本顯示器采用合資品牌-昆侖通泰7吋液晶觸摸屏,實時模擬顯示工作流程狀態(tài)和各種參數(shù)顯示,并隨時可以實現(xiàn)各參數(shù)的修正,極大的方便工作人員的操作。 C、可根據(jù)用戶需要配備在線分析儀,時時在線監(jiān)測。
|