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CDE　ResMap–CDE CDE ResMap 四點探針 (ResMap 178)　公司生產(chǎn)之電阻值測試系統(tǒng)是以四探針的工藝，以配合各半導(dǎo)體成光伏生產(chǎn)廠家進(jìn)出之生產(chǎn)品質(zhì)監(jiān)控，既超卓可靠又簡易操作的設(shè)備是半導(dǎo)體及光伏生產(chǎn)廠家不可缺少的

CDE ResMap 四點探針 (ResMap 178)
CDE 提供自動計算機量測的四點探針阻值量測機臺�？焖�，精確與軟件控制下針、軟件功能可最佳化下針壓力，即使薄片量測也不易破裂。自動清針(Probe Conditioning);動作，雙針頭切換。太陽能使用可支持自動Loader，300mm 機臺可使用Front End，最多擴充3個量測單元，支持Semi標(biāo)準(zhǔn)接口。

光伏測試專用美國ResMap四點探針
CDE ResMap的特點如簡述如下: * 高速穩(wěn)定及專利自動決定范圍量測與
傳送,THROUGHPUT高 * 數(shù)字方式及每點高達(dá)4000筆數(shù)據(jù)搜集,表現(xiàn)良
好重復(fù)性及再現(xiàn)性 * Windows 操作接口及軟件操作簡單 * 新制程表現(xiàn)佳
(銅制程低電阻率1.67mΩ-cm及Implant高電阻2KΩ/□以上,皆可達(dá)成高精
確度及重復(fù)性) * 體積小,占無塵室面積少 * 校正簡單,且校正周期長 * 可配
合客戶需求,增強功能與適用性 * 300mm 機種可以裝2~4個量測頭,并且
可以Recipe設(shè)定更換
CDE　ResMap–CDE　公司生產(chǎn)之電阻值測試系統(tǒng)是以四探針的工藝，以配合各半導(dǎo)體成光伏生產(chǎn)廠家進(jìn)出之生產(chǎn)品質(zhì)監(jiān)控，超卓可靠又簡易操作的設(shè)備是半導(dǎo)體及光伏生產(chǎn)廠家不可缺少的。

主要特點： 測量范圍廣,精度高,穩(wěn)定性好,功能齊全強大,軟件好用,維修成本低,服務(wù)好,配件齊全
美國進(jìn)口四探針電阻率測試儀(4PP)/方塊電阻測試儀/太陽能光伏擴散薄層電阻測試儀（Four point probe(4PP)）
設(shè)備名稱: 四點探針電阻儀 (CDE ResMap)
主機廠牌、型號與附件: CDE ResMap

規(guī)格:
1. Pin material: Tungsten Carbide.
2. Pin compression force Typically 100 gm to 200 gm.
3. 樣品尺寸: 2吋至6吋晶圓 (表面須為平整的導(dǎo)電薄膜，半導(dǎo)體材料)
設(shè)備用途: 導(dǎo)電薄膜的電阻值分布測量，半導(dǎo)體，光伏
特點：
1）針尖壓力一致
2）適用于各種基底材料
3）友好的用戶界面
4）快速測量
5）數(shù)據(jù)可存儲

應(yīng)用：
1）方塊電阻

2）薄片電阻

3）摻雜濃度

4）金屬層厚度

5）P/N類型

6）I/V測試