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自動(dòng)粘片設(shè)備自動(dòng)粘片機(jī)鍵合機(jī)貼片
自動(dòng)粘片設(shè)備自動(dòng)粘片機(jī)鍵合機(jī)貼片 價(jià)格:999.00  元(人民幣) 產(chǎn)地:北京北京
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MCF晶圓襯底鍵合單元
(AMS)為易碎半導(dǎo)體材料(如磷化銦和砷化鎵)的加工提供優(yōu)質(zhì)粘接。
粘合單元的設(shè)計(jì)旨在最大限度地減少這些昂貴材料的破損,同時(shí)保持最高質(zhì)量的樣品產(chǎn)量。
AMS旨在滿足當(dāng)今晶圓工藝的嚴(yán)格要求。這款高度自動(dòng)化的粘合機(jī)可作為單工位或三工位單元提供,包括真空和壓力粘合設(shè)施。


可作為單工位或三工位臺(tái)式單元提供,晶圓加工能力最大支持12"/300mm 晶圓尺寸。
AMS 系列允許操作員同時(shí)粘合單個(gè)或多個(gè)晶圓。
AMS 系列通過(guò)精確控制粘合腔內(nèi)的柔性隔膜,提供一致的粘合厚度和出色的尺寸精度。
通過(guò)圖形用戶界面設(shè)置和控制工藝條件 - 包括高達(dá) 200°C 的粘接溫度和所需的真空度。
完整的鍵合過(guò)程 - 晶圓腔室的排空,加熱,壓力鍵合和冷卻可以在30分鐘內(nèi)由AMS自動(dòng)完成(取決于安裝介質(zhì),晶圓尺寸和參數(shù)組合)。

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