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氬氣凈化設(shè)備

一、關(guān)于氬氣純化的方法：

第一種

????直接脫氧法。就是使用活性金屬、催化劑與氬氣中的氧氣進(jìn)行反應(yīng)，消化掉氬氣中的氧氣，從而達(dá)到脫氧的目的，經(jīng)過分子篩吸收掉氬氣中的水份，使氬氣的含水量小于1ppm。

第二種

????是采用吸氣劑。在一定溫度下，吸氣劑可吸收氮、氫、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體經(jīng)吸收處理后，氬氣的純度可達(dá)到6個九，這種工藝生產(chǎn)出來的高純氣體適用于各類儀器儀表適用要求。

????第一種方法設(shè)備投資小，第二種方法設(shè)備純化純度高但投資相對較大。

二、技術(shù)參數(shù)：

??1、處理氣量：?5~1500 Nm3/h(可根據(jù)用戶需要訂做非標(biāo)設(shè)備)

??2、原料氣要求：?液氬或者較好的管道氬均可使用

??3、工作壓力0.2-1.6MPa可調(diào)

??4、(氬氣凈化器)凈化效能：純化后符合并高于GB/T4842-2006的99.9996要求

??

三、設(shè)備特點：

???1、凈化劑其特點有吸附深度好，吸收雜質(zhì)氣體量大的特點，純度可達(dá)99.9999以上;

???2、凈化器采用特殊結(jié)構(gòu)和裝料方法，流速設(shè)計合理，氣流分布均勻;

???3、全BA級內(nèi)外精拉管管路。采用進(jìn)口卡套式球閥,杜絕了氣體流經(jīng)管路的再次污染。

???4、雙式結(jié)構(gòu),開機(jī)后一組工作，另一組再生、備用,而且RZ-YA-C系列半自動純化裝置工作和再生都自動進(jìn)行,故能夠連續(xù)供氣,一臺能頂單式的兩臺使用。

???5、本公司生產(chǎn)的RZ-YA-D系列全自動氬氣純化裝置功能說明：

??????A、具有全自動功能,使用操作很簡單，開、停機(jī)只需按兩個按鈕，不需扭動任何閥門，這些工作都由PLC程序自動進(jìn)行；這還克服了手動和半自動機(jī)型因人為操作失誤引起的氣體不純，因此純氣質(zhì)量也更加穩(wěn)定。

??????B、控制文本顯示器采用合資品牌-昆侖通泰7寸液晶觸摸屏，實時模擬顯示工作流程狀態(tài)和各種參數(shù)顯示，并隨時可以實現(xiàn)各參數(shù)的修正，極大的方便工作人員的操作。

??????C、可根據(jù)用戶需要配備在線分析儀，時時在線監(jiān)測。

四、應(yīng)用領(lǐng)域：

????該系列氬氣純化裝置用于高純氣體充裝站、焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護(hù)氣。

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