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光刻膠AZ膠正膠負(fù)膠AZ5214EAZ5200EAZ4562AZ1500系列
光刻膠AZ膠正膠負(fù)膠AZ5214EAZ5200EAZ4562AZ1500系列 價(jià)格:4200.00  元(人民幣) 產(chǎn)地:江蘇蘇州
最少起訂量:1 發(fā)貨地:江蘇蘇州
上架時(shí)間:2023-12-14 08:03:04 瀏覽量:332
武漢邁可諾科技有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式:代理商 公司類型:私營(yíng)有限責(zé)任公司
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:趙經(jīng)理 (先生) 手機(jī):18221354817
電話: 傳真:
郵箱:tchiu@mycroinc.com 地址:武珞路628號(hào)亞洲貿(mào)易廣場(chǎng)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌默克
產(chǎn)品名稱AZ膠 光刻膠 AZ5214E AZ5200E AZ4562 AZ1500系列
產(chǎn)品規(guī)格125ml、250ml、500ml
用途范圍適用于高分辨率工藝
是否進(jìn)口
加工定制
包裝規(guī)格1kg
容量125ml、250ml、500ml
可售賣地北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏
型號(hào)AZ5214E AZ5200E AZ4562 AZ1500

AZ5214E高解像度圖形反轉(zhuǎn)正/負(fù)可改變型光刻膠,特別為lift-off工藝優(yōu)化。AZ5214E勻膠厚度1.5μm~3μm,AZ5200E系列勻膠厚度為:0.5μm~6μm。

AZ5214E特征:

1) 適用于高分辨率工藝(lift-off工藝);

2) 適用于正/負(fù)圖形;

3) 很寬的膜厚范圍。

AZ 5200E系列光刻膠參考工藝條件:

前烘?:100℃ 60秒 (DHP);

曝光?:I線步進(jìn)式曝光機(jī)/接觸式曝光機(jī);

反轉(zhuǎn)烘烤?:110~125℃ 90秒 (DHP):去離子水30秒;

全面曝光?:310~405nm

?(在曝光光源下全面照射);

顯影?:AZ300MIF (2.38) 23℃ 30~60秒Puddle;

? ? ? ? :AZ Developer(1:1)23℃ 60秒Dipping;

? ? ? ? :AZ400K(1:4)23℃ 60秒Dipping;

清洗?:去離子水30秒;

后烘?:120℃ 120秒 (DHP);

剝離?:AZ剝離液及/或氧等離子體灰化;

產(chǎn)品型號(hào):

型號(hào)

AZ5206E

AZ5214E

AZ5218E

AZ5200NJ

粘性

7mPa

25mPa

40mPa

85mPa

?

AZP4620超厚膜,高對(duì)比度,高感光度G線標(biāo)準(zhǔn)正型光刻膠,適用于半導(dǎo)體制造及GMR磁頭制造。

特征:

1) 高對(duì)比度,高感光度

2) 高附著性,對(duì)電鍍工藝高耐受性

3) 多種粘度可供選擇

參考工藝條件:

前烘?:100℃ 90秒以上 (DHP)

曝光?:G線步進(jìn)式曝光機(jī)/接觸式曝光系統(tǒng)

顯影?:AZ300MIF顯影液23℃ 60~300秒

清洗?:去離子水

后烘?:120℃ 60秒以上

剝離?:AZ剝離液及/或氧等離子體灰化

產(chǎn)品型號(hào):

型號(hào)

AZ P4210

AZ P4330

AZ P4400

AZ P4620

AZ P4903

粘性

49mPa

115mPa

160mPa

400mPa

1550mPa

?

AZ?4500系列??AZ4562

具有最佳粘附力的厚光刻膠

特點(diǎn):

AZ???4500系列AZ???4533AZ???4562)是正性厚光刻膠,在普通濕法蝕刻和電鍍工藝中具有優(yōu)良的粘附性能:

l??優(yōu)化對(duì)所有常見基材的附著力

l??寬廣的工藝參數(shù)窗口,可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定且可重復(fù)的光刻工藝

l??與所有常見的顯影液兼容(基于KOH或TMAH)

l??與所有常見的去膠劑兼容(例如AZ100去膠劑、有機(jī)溶劑或堿性溶劑)

l??對(duì)g,h和i線敏感(約320-440 nm)

l??光刻膠厚度范圍約?3-30微米

?

AZ???4500系列AZ???4533AZ???4562)的溶劑濃度不同,因此可達(dá)到的光刻膠膜厚有較大的范圍:

光刻膠型號(hào)

光刻膠膜厚范圍

包裝規(guī)格

AZ???4533

轉(zhuǎn)速為4000 rpm時(shí),膜厚約為3.3 μm;通過改變轉(zhuǎn)速,膜后可達(dá)2.5-5 μm。

多規(guī)格包裝,如1L、2.5L等

AZ???4562

轉(zhuǎn)速為4000 rpm時(shí),膜厚約為3.3 μm;通過改變轉(zhuǎn)速,膜后可達(dá)4.5-10 μm;調(diào)整旋轉(zhuǎn)輪廓(中等旋涂速度下短時(shí)間旋涂),可達(dá)30 μm膜厚。

多規(guī)格包裝,如1L、2.5L等


若光刻膠膜厚度 30 μm?

通常,AZ?4562可以用來(lái)涂覆厚度達(dá)30微米及以上。然而,在該厚度范圍內(nèi),軟烘烤、曝光、顯影等變得非常耗時(shí)。此外,如果涂得太厚,AZ?4562也可能在曝光期間形成N2氣泡。 因此,對(duì)于厚度大于30 μm的光刻膠膜厚度,強(qiáng)烈建議使用化學(xué)放大的AZ?40 XT光刻膠。

顯影液——適用于AZ???4500光刻膠

如果可以使用含金屬離子的顯影液,可使用1:4稀釋的KOH基AZ?400K作為顯影液(對(duì)于更高的光刻膠膜厚度,可用1:3.5 - 1:1的稀釋濃度)。

如果必須使用不含金屬離子的顯影液,我們建議使用基于TMAH基的AZ?326 MIF,AZ?726 MIF或AZ?826 MIF顯影劑(未稀釋)。

?

去膠劑——適用于AZ???4500光刻膠

對(duì)于非交聯(lián)的光刻膠薄膜,可以使用AZ?100作為去膠劑,DMSO或其他常見的有機(jī)溶劑作為剝離劑。 如果光刻膠膜已交聯(lián)(例如,在干法蝕刻等離子工藝或離子注入時(shí),> 140°C的高溫步驟時(shí)),我們建議使用不含NMP的TechniStrip P1316作為去膠劑。


EM膠

電子束光刻膠

型號(hào)

光源

類型

分辨率

厚度(um)

適用范圍

SU-8 GM1010

電子束

負(fù)性

100nm

0.1-0.2

可用于做高寬比較大的納米結(jié)構(gòu)。

HSQ
XR-1541-002/004/006

電子束

負(fù)性

6nm

30nm~180nm

分辨率最好的光刻膠,抗刻蝕。

HSQ Fox-15/16

電子束

負(fù)性

100nm

350nm~810nm

分辨率最好的光刻膠,抗刻蝕。

PMMA(國(guó)產(chǎn))

電子束

正性

高分辨率,適用于各種電子束光刻工藝,最常用的電子束光刻正膠。

PMMA(進(jìn)口)

電子束

正性

MicroChem,各種分子量,適用于各種電子束光刻工藝,最常用的電子束光刻正膠。


PMGI&LOR Lift-off光刻膠<

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