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干涉儀是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量，從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。測(cè)量精度決定于測(cè)量光程差的精度，干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長(zhǎng)(～10-7米)，所以干涉儀是以光波波長(zhǎng)為單位測(cè)量光程差的，其測(cè)量精度之高是任何其他測(cè)量方法所無法比擬的。

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FR-pRo是模塊化和可擴(kuò)展的測(cè)量?jī)x器系列，可根據(jù)客戶需求量身定制，并且能夠通過標(biāo)準(zhǔn)的吸光度/透射率和反射率測(cè)量，以及在溫度和環(huán)境受控環(huán)境下進(jìn)行薄膜表征，在各種不同的應(yīng)用中使用。

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應(yīng)用領(lǐng)域：

1、半導(dǎo)體晶片

2、液晶產(chǎn)品（CS,LGP,BIU）?

3、微機(jī)電系統(tǒng)

4、光纖產(chǎn)品

5、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)盤（HDD,DVD,CD）

6、材料研究

7、精密加工表面

8、生物醫(yī)學(xué)工程

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產(chǎn)品特點(diǎn)：

1?、非接觸式測(cè)量：避免物件受損。

2?、可測(cè)多層薄膜厚度，厚度范圍：1nm-3mm。?

3、最大光譜：200-2500nm。

4?、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

5、納米級(jí)分辨率：垂直分辨率可以達(dá)0.1nm。

6、高速數(shù)字信號(hào)處理器：實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)H需幾秒鐘。

7?、掃描儀：閉環(huán)控制系統(tǒng)。

8、工作臺(tái)：氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。

9?、測(cè)量軟件：基于windows?操作系統(tǒng)的用戶界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算

技術(shù)參數(shù)：

典型案例：

其他型號(hào)膜厚儀：

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