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超短脈沖激光器(USP)，是指輸出激光的脈沖寬度在皮秒(10ps)更小級(jí)別的脈沖激光。華日激光生產(chǎn)研發(fā)的Femto超短脈沖激光(USP)可分為皮秒激光、飛秒激光。Femto-400飛秒級(jí)超短脈沖激光器(USP)，是由 Huaray 自主研發(fā)生產(chǎn)的，穩(wěn)定、可靠的飛秒光纖激光器產(chǎn)品，也是國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃專項(xiàng)的研發(fā)成果。激光器采用光、電一體化設(shè)計(jì)，在150 kHz的重復(fù)頻率下實(shí)現(xiàn)了單脈沖能量400 μJ，同時(shí)脈沖寬度小于300 fs，并可根據(jù)用戶需求實(shí)現(xiàn)<300 fs 到 10 ps可選或可調(diào)。該產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓加工、陶瓷與聚合物加工、金剛石加工、新能源材料加工、難加工金屬加工、高分子材料加工與處理等領(lǐng)域。

當(dāng)激光以納秒量級(jí)的脈沖時(shí)間進(jìn)行工作時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)很高的脈沖能量、峰值功率和平均功率，為微型機(jī)械加工應(yīng)用，如薄片切割、連接和表面處理等領(lǐng)域開辟出更廣泛的應(yīng)用空間，以便用于清洗、燒蝕和表面功能化；當(dāng)激光以皮秒量級(jí)的脈沖時(shí)間作用到材料上時(shí)，加工效果會(huì)發(fā)生顯著變化。隨著脈沖能量急劇上升，高功率密度足以剝離外層電子。由于激光與材料相互作用的時(shí)間很短，離子在將能量傳遞到周圍材料之前就已經(jīng)從材料表面被燒蝕掉了，不會(huì)給周圍的材料帶來熱影響，因此也被稱為“冷加工”。

Femto-400飛秒級(jí)超短脈沖激光器(USP)產(chǎn)品特點(diǎn)：
脈寬小于 300 fs，支持更多脈寬選擇
高峰值功率
單脈沖能量高達(dá) 400 μJ
支持重復(fù)頻率調(diào)節(jié)
堅(jiān)固耐用的工業(yè)一體化設(shè)計(jì)

Femto-400飛秒級(jí)超短脈沖激光器(USP)應(yīng)用領(lǐng)域：
高分子材料加工與處理
難加工金屬加工
陶瓷與聚合物加工
半導(dǎo)體晶圓加工
新能源材料加工
合金材料加工
玻璃與玻璃焊接
玻璃與金屬焊接

Femto-400飛秒級(jí)超短脈沖激光器(USP)參數(shù)指標(biāo)：
型號(hào)Femto 400-1035
中心波長(zhǎng)1035 nm
輸出功率60 W
最大單脈沖能量400 μJ
最大脈沖串能量1 mJ
重復(fù)頻率Single-Shot to150 kHz
脈沖寬度<350 fs to 10 ps
光束質(zhì)量M2≤1.3 (Typical <1.2)
光束發(fā)散角<1 mrad,2θ
光斑圓度≥85
光斑直徑3±1 mm, 1/e2
偏振態(tài)Linear
功率穩(wěn)定性<2 RMS
工作溫度10 to 30 °C
電源AC 220/110 V