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ANT95LZ單軸Z納米定位平臺

我們的第二代ANT95LZ位移臺經(jīng)過專門設計，可在垂直方向上提供納米級的運動和定位性能。用戶可調(diào)節(jié)的超低摩擦氣動平衡塊使它們在結(jié)合分辨率、精確度、可重復性、尺寸和可靠性方面成為同類最佳。它們令人印象深刻的動態(tài)能力和增強的承載能力使ANT95LZ位移臺成為您需要卓越垂直運動時的絕佳選擇。
設計特點
?增強型第二代設計
?實現(xiàn)1 nm的最小增量運動-新的
?在長達50毫米的行程范圍內(nèi)提供納米級定位性能
?通過用戶可調(diào)節(jié)的超低摩擦平衡力，可在垂直方向上抵消高達5千克的有效載荷，實現(xiàn)精確的性能
?采用高精度交叉滾子軸承，具有出色的動態(tài)性能和巨大的負載能力
?利用無鐵芯直接驅(qū)動直線電機最大限度地提高生產(chǎn)能力和可靠性

關鍵應用
ANT95LZ非常適合要求高精度和動態(tài)定位性能的多軸應用，包括:
?光子組裝和檢測
?光纖對齊和優(yōu)化
?光學制造、測試和檢驗
?傳感器測試和認證
?半導體加工與檢驗
?研究和實驗室應用
行業(yè)領先的運動性能
出色的精度、位置可重復性和在位穩(wěn)定性要求極高的系統(tǒng)分辨率。ANT95LZ現(xiàn)在提供改進的高性能編碼器選項，可以輕松實現(xiàn)1 nm的最小位移增量。我們的直接驅(qū)動技術沒有滯后或反沖，能夠?qū)崿F(xiàn)精確和可重復的納米級運動。此外，影響最小的配重設計可抵抗有效負載產(chǎn)生的重力，從而實現(xiàn)行業(yè)領先的性能和最佳的熱穩(wěn)定性。

非接觸式直接驅(qū)動
只有非接觸式直接驅(qū)動技術能夠提供大規(guī)模生產(chǎn)精密設備所需的穩(wěn)健、精確和高速定位。ANT95LZ位移臺使用我們先進的直接驅(qū)動技術來實現(xiàn)最高水平的定位性能。這種直接驅(qū)動技術提供了超平滑、一致的運動和出色的動態(tài)特性，以優(yōu)化您的加工處理量。獨特的驅(qū)動器和軸承組合封裝在極其緊湊的外形中，在許多應用中提供了切實的優(yōu)勢，例如高精度定位、光纖對準、光學制造和檢測、傳感器測試和掃描過程，這些應用需要平穩(wěn)和精確的運動。
靈活的系統(tǒng)設計
ANT95LZ系列具有通用安裝和臺面安裝孔，便于系統(tǒng)集成。兩個、三個或更多軸可以很容易地結(jié)合起來，以實現(xiàn)靈活的系統(tǒng)設計和多軸配置。ANT95LZ平臺還提供更低的雙平衡結(jié)構(gòu)，可與其他產(chǎn)品(包括ANT95L、ANT95XY、ANT95R、ANT95V、ANT20G等)輕松結(jié)合，以實現(xiàn)復雜的多自由度運動和定位解決方案。