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簡(jiǎn)介
GNAD系列是先進(jìn)一代的精密研磨和拋光機(jī)，為材料加工應(yīng)用提供了顯著的改進(jìn)和優(yōu)勢(shì)，包括Si，SiC，GaN，InP，GaAs，CZT和MCT等。
所有功能均可由獨(dú)立的可拆卸控制系統(tǒng)控制。根據(jù)工藝的具體要求，可拆卸控制系統(tǒng)可以選擇WIFI/藍(lán)牙或有線模式來控制機(jī)器。

● 獨(dú)立的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)
● 通過一個(gè)控制系統(tǒng)進(jìn)行多機(jī)控制 ● 自動(dòng)溫度和冷卻控制
● 多進(jìn)料系統(tǒng)
● 自動(dòng)清潔控制系統(tǒng) SH 系列精密拋光夾具用于在 GNAD 機(jī)器上研磨和/或拋光時(shí)保持形狀各異的樣品。

帶刻度盤的夾具可以指示庫(kù)存去除，精度數(shù)據(jù)為1微米。

夾具自動(dòng)旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)可以驅(qū)動(dòng)和控制夾具轉(zhuǎn)速?gòu)?-100rpm。掃描范圍控制在0-100，此功能可以減少拋光時(shí)間，提高去除率和最終的粗糙度和平坦度。
研磨/拋光板的基本操作由主驅(qū)動(dòng)部分控制。從這里設(shè)置板速并顯示在LCD上。這在0到120 rpm之間是無(wú)限可變的，以確保適合所選過程的速度。
自動(dòng)板材平整度控制系統(tǒng)持續(xù)監(jiān)控板材形狀，并自動(dòng)糾正與操作員設(shè)置的所需形狀的任何偏差。
自動(dòng)清潔控制系統(tǒng)將自動(dòng)清潔板和可拆卸滴水盤，時(shí)間和進(jìn)料將受到控制。主驅(qū)動(dòng)器面板上的計(jì)時(shí)器可設(shè)置為運(yùn)行機(jī)器長(zhǎng)達(dá) 10 小時(shí)。操作員的持續(xù)監(jiān)督是不必要的。它將為操作員提供更多的自由度，因?yàn)樵谶x定的時(shí)間或厚度之后，加工將自動(dòng)停止。

技術(shù)參數(shù)

電源： 250V、10A / 110V、10A
晶圓產(chǎn)能： 6 英寸/152 毫米 x 1、6 英寸/152 毫米 x 2、6 英寸/152 毫米 x 3
板材直徑： 300毫米、350毫米、420毫米
板速度： 0-120轉(zhuǎn)/分
夾具轉(zhuǎn)速： 0-120轉(zhuǎn)/分
夾具掃描頻率： 0-30分鐘
工作時(shí)間： 0-10 小時(shí)
磨料輸送： 1/2/3/4/5/6 進(jìn)紙通道