| 大腔體等離子清洗機TergeoPRO可處理8英寸 |
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價格：\u9762\u8bae 元(人民幣) | 產(chǎn)地：湖北武漢 |
| 最少起訂量：1 | 發(fā)貨地：湖北武漢 | |
| 上架時間：2023-09-13 19:07:16 | 瀏覽量：108 | |
武漢邁可諾科技有限公司
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| 所屬行業(yè)：實驗室設備/實驗室儀器 | 主要客戶：高校實驗室科研單位 | |
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Tergeo Pro大尺寸臺式等離子清洗機 Tergeo-Pro 等離子系統(tǒng)將腔室直徑增加到 9 英寸（230 毫米）。腔室的深度增加到 13.4 英寸（430 毫米）。Tergeo-Pro 等離子系統(tǒng)足夠大，可以容納 8 英寸晶圓，容納一兩個 25/50 槽 6" 或 4" 石英晶舟。Tergeo-Pro 等離子系統(tǒng)可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射頻功率。射頻功率可以 1 瓦的間隔進行調整。射頻電源的頻率為 13.56MHz，提供比 KHz 射頻等離子系統(tǒng)更高的等離子生成效率。Tergeo 等離子系統(tǒng)不僅可以調整射頻功率，還可以產(chǎn)生連續(xù)或脈沖等離子。脈沖比可以從 調整到小于 1？涿撌冶诮Y構可實現(xiàn)外部電容耦合射頻電極設計。 以下是典型應用案例： 光刻膠灰化、除渣和硅片清洗； 在引線鍵合、倒裝芯片底部填充、PCB去污之前清潔芯片； 生物醫(yī)用涂層前表面處理，提高醫(yī)用植入物的親水性； 環(huán)氧樹脂粘合前的光學元件、玻璃、光纖頭和基板清潔； PDMS、微流體、載玻片和芯片實驗室； 改善金屬與金屬或復合材料的粘合； 改善塑料、聚合物和復合材料的粘合； Tergeo Pro等離子清洗機的產(chǎn)品特點： 1.大型樣品室 針對大尺寸基片而研發(fā)設計，腔室足夠大，可容納8英寸晶圓，一個或兩個 25片/50片 6"/4"晶圓 的石英舟。 2.等離子傳感器 可實時監(jiān)測等離子狀態(tài)，并為用戶提供不同配方條件下等離子強度的定量反饋，實時顯示在液晶觸摸屏顯示器上。等離子傳感器還可以監(jiān)測等離子灰化過程的進程并用作終點指示器。 3.連續(xù)或脈沖等離子 脈沖比可以從 調整到小于1。改變等離子體強度超過幾個數(shù)量級。 4 的過程控制功能 壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流量計、等離子強度傳感器、自動阻抗匹配。
Tergeo Pro等離子清洗機的技術參數(shù)：
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