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ATS100 機(jī)械軸承，絲杠驅(qū)動線性載物臺
ATS100 載物臺采用箱式設(shè)計，具有精密研磨滾珠絲杠和直線運動導(dǎo)軌軸承，可提供出色的剛度和長期穩(wěn)定性。緊湊的設(shè)計使其能夠輕松地將 ATS100 載物臺集成到狹小空間中，如龍門橋、機(jī)器外殼和真空室。ATS100 載物臺由一系列帶集成反饋編碼器的無刷旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動，為您的工藝提供平穩(wěn)、超精確的運動性能。此外，ATS100 載物臺還具有防止污染影響的功能，可確保高度可靠運行的長使用壽命。

設(shè)計特點
提供亞微米定位精度和雙向重復(fù)性，可達(dá) 0.3 μm
采用薄型、緊湊的外形，可輕松集成
提供出色的剛度和穩(wěn)定性
通過一體式波紋管護(hù)銷防止污染
支持最大 200 mm 的行程長度
提供真空兼容配置
主要應(yīng)用
ATS100 載物臺是各種精密工業(yè)和實驗室應(yīng)用的理想選擇，包括：

測量、檢查和顯微鏡
半導(dǎo)體晶圓測試和制造
激光微加工
精密點膠
光學(xué)操作和處理
先進(jìn)制造和精密微加工
龍門 Z 軸應(yīng)用

突出的結(jié)構(gòu)特點
ATS100 系列載物臺由特殊的鑄造鋁合金加工而成，具有高強度重量比和長期穩(wěn)定性。底座采用箱形設(shè)計，可提供出色的剛度和穩(wěn)定性。

ATS100 系列載物臺采用預(yù)加載的精密研磨滾珠絲杠以消除間隙，其螺母具有雨刷器，可防止污染并在載物臺的整個使用壽命期間保持高精度。高品質(zhì)、預(yù)加載的雙聯(lián)軸承用于消除軸向游隙。

所有 ATS100 系列載物臺均采用直線運動導(dǎo)軌 （LMG） 軸承，以提供高負(fù)載能力和高剛度。LMG 設(shè)計提供了一個緊湊的載物臺，在整個行程中具有連續(xù)的滑塊支撐和良好的懸臂負(fù)載能力。軸承卡車上的整體雨刷器有助于確保載物臺行駛壽命。高精度光學(xué)限位開關(guān)和終端停止也是標(biāo)準(zhǔn)配置。

整體式波紋管式路蓋可保護(hù)驅(qū)動和軸承系統(tǒng)免受污染。金屬表面采用有吸引力的透明陽極氧化表面保護(hù)。公制（標(biāo)準(zhǔn)）和英制安裝和螺栓孔模式均可用。

高精度
ATS100 在緊湊的封裝中樹立了精密性能的標(biāo)準(zhǔn)。ATS100 采用 -PL2 選件，能夠達(dá)到亞微米級精度和 0.3 μm 的令人印象深刻的重復(fù)精度。

電機(jī)和驅(qū)動器
ATS100 系列載物臺包括 Aerotech 的 BMS 系列無刷旋轉(zhuǎn)電機(jī)。該電機(jī)具有無刷電機(jī)的所有優(yōu)點 - 高加速度，無刷磨損和更低的加熱 - 但齒槽零，可實現(xiàn)極其平穩(wěn)的運動和準(zhǔn)確性。Aerotech制造各種匹配的驅(qū)動器和控制裝置，以提供完全集成和優(yōu)化的運動解決方案。

選項
標(biāo)準(zhǔn)選件包括用于多軸裝配和真空制備的精密直角支架，最高可達(dá) 10-6托。