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6英寸石英晶圓規(guī)格書

材質(zhì)：石英玻璃
直徑: 150 ± 0.25 mm
厚度: 1000 ± 25um
平邊長(zhǎng): 47±2.0mm
拋光：雙面拋光
正面粗糙度：Ra≤0.5nm
背面粗糙度：Ra≤0.5nm
光潔度：SD 60/40
平行度：≤30"
包裝：25片/盒多片盒卡塞裝

* 光學(xué)石英玻璃（應(yīng)用波段250-2000nm）采用氣煉法工藝，原理是利用氫氧焰將原料天然水晶熔化，在石英玻璃靶面上堆積形成。其特點(diǎn)是化學(xué)純度高可用于電子、半導(dǎo)體工業(yè)；羥基-OH 150-400ppm，紫外透過率好，使用較為廣泛，紫外及可見光領(lǐng)域的光學(xué)零件及透鏡都可以使用。
* 電學(xué)性質(zhì)：石英玻璃是一種優(yōu)良的絕緣材料，在高溫下仍能保持很高的介電強(qiáng)度和電阻，而且?guī)缀鯖]有損耗。
* 熱學(xué)性質(zhì)：石英玻璃的耐高溫性能，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過任何一種玻璃，短時(shí)間可在1450℃高溫下使用，�？稍�1000℃以上、不透明則在900℃使用。石英玻璃的膨脹系數(shù)極小，為平板玻璃的1/14，石英玻璃的比熱和導(dǎo)熱系數(shù)隨溫度的升高而增大。石英玻璃的粘度隨羥基和雜質(zhì)含量的增加而降低，粘度大，溫度范圍窄。
* 機(jī)械性質(zhì)：石英玻璃由單組元硅氧四面體組成網(wǎng)絡(luò)骨架，硅氧鍵鍵強(qiáng)很大，結(jié)構(gòu)緊密，機(jī)械強(qiáng)度很高，為普通玻璃的2～3倍。
* 光學(xué)性質(zhì)：石英玻璃在紫外到近紅外區(qū)域內(nèi)有較高的透過率。