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 BROOKS質(zhì)量流量計(jì)SLA5860將工藝所需的準(zhǔn)確性、可靠性和可重復(fù)性相結(jié)合，是一種能夠?yàn)槟�提供高精度性能和長期穩(wěn)定性并且經(jīng)濟(jì)有效的測(cè)量儀器。 

特點(diǎn)：

• 長期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的 0.2%
• 高精度
• 流量范圍寬 - 從0.003一直到 2500 lpm
• 上限耐壓等級(jí) - 高達(dá) 1500 psi/100 bar（可選：4500 psi/310 bar）
• 可編程多氣體/多量程功能
• 可單獨(dú)輕松訪問的診斷/維護(hù)端口
• 包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485加模擬接口在內(nèi)的各種通信選擇
• 采用模塊化設(shè)計(jì)，無論在工廠或是現(xiàn)場(chǎng)使用均非常易于維護(hù)

BROOKS質(zhì)量流量計(jì)SLA5860關(guān)鍵應(yīng)用：

• 化學(xué)品與石化分析和試驗(yàn)過程
• 實(shí)驗(yàn)室和分析系統(tǒng)
• 生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室
• 薄膜氣相沉積
• 熱處理、切割等其他熱過程
• 真空應(yīng)用

BROOKS質(zhì)量流量計(jì)SLA5860測(cè)量原理：

 是采用感熱式測(cè)量，通過分體分子帶走的分子質(zhì)量多少從而來測(cè)量流量，因?yàn)槭怯酶袩崾綔y(cè)量，所以不會(huì)因?yàn)闅怏w溫度、壓力的變化從而影響到測(cè)量的結(jié)果 。

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