不同類型的拉壓式傳感器
隨著微機電系統(tǒng)（MEMS）的發(fā)展，市場上已經(jīng)引入了不同型號的基于MEMS的低壓傳感器。根據(jù)它們使用的原理，壓力傳感器可以采用拉壓式，諧振式，電容式等形式。在所有這些中，拉壓式傳感器是最受歡迎和廣泛使用的。這是因為它們具有顯著的優(yōu)點，例如對壓力變化的最低變化的高靈敏度，準(zhǔn)確的讀數(shù)，可重復(fù)性和出色的線性度。當(dāng)器件暴露在環(huán)境中時，這些器件基于壓敏電阻器低壓傳感器的電阻來記錄壓力。
拉壓式傳感器傳感器配置
上海自動化儀表有限公司這種類型的傳感器具有四個壓電電阻器，方形膜和膜上的橫梁。該梁包括三層，即硅層，鋁層和隔離層。四個壓電電阻器嵌入硅層中。
在所使用的四個壓阻傳感器中，兩個垂直地位于膜的兩側(cè)。當(dāng)膜暴露于增加的壓力時，它們檢測到壓力的變化，因為它們的阻力增加。
另外兩個壓電電阻器與膜平行，它們的電阻隨著壓力的增加而減小。四個壓電電阻通過電橋連接。
拉壓式傳感器的應(yīng)用
除了廣泛用于測量大氣和高海拔的低壓變化外，拉壓式傳感器還有其他幾種應(yīng)用。
這種低壓傳感器廣泛用于醫(yī)療應(yīng)用中，用于測量體內(nèi)的超低血壓波動。
它們還用于測量使用觸摸技術(shù)或采用敏感E-skin技術(shù)設(shè)計的低壓變化（特別是低于100 Pa）。
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