也可測(cè)量軟質(zhì)材料表面;可以得到較高的測(cè)量速度;可用于復(fù)雜曲面、日本HD橫向運(yùn)動(dòng)諧波SHF-25-80-2SO內(nèi)表面、溝槽和窄小表面的測(cè)量，亦可方便地得到多種粗糙度參數(shù)值。其不足之處是分辨力受到光針焦點(diǎn)光斑直徑〔1一2}em)的限制·
C2)針描法測(cè)量的幾項(xiàng)有關(guān)問(wèn)題
1)測(cè)量基準(zhǔn)的實(shí)現(xiàn)針描法日本HD橫向運(yùn)動(dòng)諧波SHF-25-80-2SO測(cè)量基準(zhǔn)有兩類:基準(zhǔn)和相對(duì)基準(zhǔn)。
采用基準(zhǔn)的針描法中，探針橫向運(yùn)動(dòng)軌跡是外部提供的理想基準(zhǔn)輪廓，如探針運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌、導(dǎo)向玻璃平面或曲面等。由于基準(zhǔn)誤差將直接帶入測(cè)量結(jié)果之中，因而基準(zhǔn)本身應(yīng)具有十分高的精度。日本HD橫向運(yùn)動(dòng)諧波SHF-25-80-2SO這種方法中探針?biāo)鶞y(cè)得的結(jié)果將包括形狀誤差、表面波紋度和表面粗糙度在內(nèi)的全部輪廓不平度。